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  • OTF-1200X-80-I-F3LV 1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)
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品牌

廠商性質(zhì)

其他

型號

訪問次數(shù)

100

產(chǎn)地

北京市

更新時(shí)間

2026/7/12 7:44:59

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產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達(dá)到10-2torr

OTF-1200X-80-I-F3LV 1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)詳細(xì)信息

OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達(dá)到 10-2 torr。

性能指標(biāo)和基本配置
殼體結(jié)構(gòu)

雙層爐殼結(jié)構(gòu),風(fēng)冷循環(huán),降低外殼溫度. 殼體表面溫度< 55oC

內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命

電壓

AC 208-240V 單相 50 Hz

功率

3KW

溫度

1200°c

工作溫度

1100°c

升溫速率

 <= 20°c  in="">

爐管規(guī)格及材質(zhì)

 石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加熱區(qū)長度

 400mm 

恒溫區(qū)長度

150 mm(+/-1 ℃) 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系 

 控溫系統(tǒng)

PID30段程序化控溫

控溫儀表操作視頻

控溫精確度

 +/ - 1°C

加熱元件

 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲,表面涂有氧化鋯涂層,可以的延長儀器的使用壽命

真空密封系統(tǒng)

 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥),漏氣率6 mtorr/min

 1 

真空泵

采用雙旋機(jī)械泵

防腐型真空計(jì) 可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹)

混氣系統(tǒng)

三個(gè)浮子流量計(jì)(準(zhǔn)確率4%FS)

三路浮子量程分別為

10-100 cc/min.

16-160 cc/min.

25-250 cc/min

內(nèi)部安裝有一混氣罐

1

開門斷電

為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)

 
尺寸

爐體尺寸: 550 x 380 x 520 mm, 

混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm

重量

約 60 Kg

質(zhì)保期

整機(jī)保修一年,相關(guān)耗材除外.(如爐管、密封圈、加熱絲.)

質(zhì)量認(rèn)證

CE 認(rèn)證

所有電器元件(>24V)都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國 TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證

    

注意事項(xiàng)

①爐管內(nèi)氣壓不可高于 0.02MPa

②由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全

③當(dāng)爐體溫度高于 1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

④進(jìn)入爐管的氣體流量需小于 200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

⑤石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃

⑥對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于 0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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