OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng)，其真空度可達(dá)到 10-2 torr。
| 性能指標(biāo)和基本配置 | |
|---|---|
| 殼體結(jié)構(gòu) | 雙層爐殼結(jié)構(gòu)，風(fēng)冷循環(huán)，降低外殼溫度. 殼體表面溫度＜ 55oC 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命 |
| 電壓 | AC 208-240V 單相 50 Hz |
| 功率 | 3KW |
| 溫度 | 1200°c |
| 工作溫度 | 1100°c |
| 升溫速率 | <= 20°c in=""> |
| 爐管規(guī)格及材質(zhì) | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
| 加熱區(qū)長度 | 400mm |
| 恒溫區(qū)長度 | 150 mm(+/-1 ℃) 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系 |
| 控溫系統(tǒng) | PID30段程序化控溫 控溫儀表操作視頻 |
| 控溫精確度 | +/ - 1°C |
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯涂層，可以的延長儀器的使用壽命 |
| 真空密封系統(tǒng) | 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥），漏氣率6 mtorr/min |
| 真空泵 | 采用雙旋機(jī)械泵
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| 防腐型真空計(jì) | 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
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| 混氣系統(tǒng) | 三個(gè)浮子流量計(jì)(準(zhǔn)確率4%FS) 三路浮子量程分別為 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 內(nèi)部安裝有一混氣罐 |
| 開門斷電 | 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì) |
| 尺寸 | 爐體尺寸: 550 x 380 x 520 mm, 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm |
| 重量 | 約 60 Kg |
| 質(zhì)保期 | 整機(jī)保修一年,相關(guān)耗材除外.(如爐管、密封圈、加熱絲.) |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE 認(rèn)證 所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國 TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證 |
| 注意事項(xiàng) | ①爐管內(nèi)氣壓不可高于 0.02MPa ②由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ③當(dāng)爐體溫度高于 1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ④進(jìn)入爐管的氣體流量需小于 200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ⑤石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ ⑥對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于 0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） |
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