GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),溫度可以達(dá)到1700°C,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
| 技術(shù)參數(shù) | ||
|---|---|---|
| 管式爐結(jié)構(gòu) | ● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于55°C. ● 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失 ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 | |
| 加熱元件 | 1800 grade MoSi2 ( 8根) | |
| 工作溫度 | 1700℃ | |
| 升溫速率 | 5℃/min | |
| 降溫速率 | 5℃/min | |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 455mm (18") | |
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 150(+/-1℃) 注:由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響,測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系 | |
| 溫控系統(tǒng) | ● 一個(gè)精密溫度控制器 PID方式控制,通過(guò)可控硅 SCR ● 可設(shè)置30段升降溫程序 ● 控溫儀表操作視頻 ● 帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù) | |
| 控溫精度 | +/-1℃ | |
| 爐管材質(zhì)和尺寸 | ● 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管 ● (標(biāo)配)OD: 60 mm:ID: 52mm x1000 mm length ● (選配)OD: 80 mm:ID: 72mm x1000 mm length | |
| 密封法蘭 | ● 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表(圖片中的藍(lán)表為選配)和閥門 ● 通過(guò)機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr ● 泄漏率6 mtorr/min | |
| 輸入電源 | AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:5KW | |
| 真空泵和配件 | 真空泵 | ● 一個(gè)雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動(dòng)架內(nèi) ● 通過(guò)此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr |
| 配件 | ● 標(biāo)配的真空配件: 一對(duì)不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口,兩個(gè)不銹鋼針閥, 1/4"的軟管接頭 ● 一個(gè)1000mm長(zhǎng)的KF-25 不銹鋼波紋管和四個(gè)KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍 ● 可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹) | |
| 氣體流量計(jì) | ● 3個(gè)浮子流量計(jì)(精確度4%FS)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上,可以推動(dòng),可同時(shí)混入三種不同氣體 ● 路氣體流量范圍為10-100 cc/min ● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min ● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min ● 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上,壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 ,來(lái)監(jiān)測(cè)混合氣體的壓力 ● 四個(gè)不銹鋼針閥安裝在前面板上 ![]() Front Panel Back Panel Gas Routes | |
| 運(yùn)輸信息 | 產(chǎn)品尺寸 | ● 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管 ● 爐體尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H ● 混氣系統(tǒng):: 600 x 600 x 700mm 真空機(jī)組: 600 x 600 x 700mm |
| 凈重 | 450 lb (總計(jì)) | |
| 運(yùn)輸重量 | 500 lb (總計(jì)) | |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件 | |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE certified | |



















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