| 卡盤定制系統(tǒng) | |||||||
| 卡盤類型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 溫度范圍 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller電源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller總功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控溫模組 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加熱能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面處理 | 鍍鎳/鍍金 | ||||||
| 控溫方式 | 內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確PID調(diào)節(jié)控溫 | ||||||
| 如有其他需求，可非標定制 | |||||||
高低溫卡盤系統(tǒng)是一種集成溫控、真空吸附與精密承載功能的半導(dǎo)體測試設(shè)備，主要用于晶圓、芯片、MEMS器件等試樣的全溫域電性測試與可靠性評估，是探針臺的關(guān)鍵配套組件。無錫冠亞恒溫作為專業(yè)廠家，提供適配半導(dǎo)體、光電、射頻等領(lǐng)域的定制化高低溫卡盤解決方案。高低溫卡盤系統(tǒng)-探針臺精密控溫chiller
高低溫卡盤系統(tǒng)功能與工作原理
1. 準確溫控：集成加熱/制冷單元與高精度傳感器，支持-65℃~+200℃寬溫域（可定制擴展），控溫精度達±0.1℃，實現(xiàn)多區(qū)均勻控溫
2. 真空吸附：優(yōu)化式真空結(jié)構(gòu)確保樣品平整固定，吸附力均勻穩(wěn)定，避免接觸不良導(dǎo)致的熱阻誤差與樣品損傷
3. 閉環(huán)控制：采用自主研發(fā)算法，實時采集溫度數(shù)據(jù)并動態(tài)調(diào)節(jié)，影響測試過程中溫度漂移，保障數(shù)據(jù)一致性
高低溫卡盤系統(tǒng)主要應(yīng)用場景
· 半導(dǎo)體晶圓制造與封裝測試的變溫電學(xué)參數(shù)分析
· 功率器件建模、可靠性評估與老化測試
· 射頻器件、MEMS傳感器等精密元件的高低溫循環(huán)測試
· 光電產(chǎn)品變溫性能檢測
無錫冠亞恒溫產(chǎn)品chiller優(yōu)勢
· 支持直冷、液冷、氣冷多種溫控方式，適配不同測試需求
· 提供8寸、12寸及非標方形卡盤定制
· 全密閉系統(tǒng)設(shè)計，延長導(dǎo)熱介質(zhì)壽命，降低維護成本
· 設(shè)置安全報警機制，保障操作安全
無錫冠亞恒溫專注溫控領(lǐng)域十余年，為客戶提供從設(shè)備選型到售后維護的全流程服務(wù)，助力半導(dǎo)體行業(yè)提升測試效率與數(shù)據(jù)準確性。高低溫卡盤系統(tǒng)-探針臺精密控溫chiller
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