簡要描述：YAMATO等離子灰化機(jī)，PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制（PR500/510）低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

產(chǎn)品介紹

YAMATO等離子灰化機(jī)，PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制（PR500/510）

低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

用途：

• 去除光刻膠
• 部品清洗
• 界面活性處理
• 微研磨
• 硅晶圓，玻璃基板對應(yīng)

特征：

• 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
• 小型一體化設(shè)計(jì)

操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）

技術(shù)參數(shù)：

型號		PR500	PR510
模式		DP模式，桶型
控制部	高頻輸出功率	Max500W
	頻率	13.56MHz
	同調(diào)方式	自動協(xié)調(diào)
反應(yīng)部	反應(yīng)腔	石英 Φ215×305mm
	反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)（O2／CF4）
	控制	手動	觸摸屏自動控制
	配管材質(zhì)	不銹鋼、特氟龍
外形尺寸		W438×D520×H760mm	參照規(guī)格書
重量		約60kg	參照規(guī)格書
電源		單相AC100V 9A	三相AC200V 8A

 

PR200/300/301，從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺式等離子清洗機(jī)。

 用途：

• YAMATO等離子灰化機(jī)高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通過氧化反應(yīng)，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影響）。同樣在氮?dú)獾入x子體中，氮原子被吸收在表面中，生成-NH 2等官能基。
• 硅晶圓蝕刻。
• 材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
• 石棉預(yù)處理（膜過濾灰化）。
• 從電子設(shè)備到生化市場。
• 低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
• 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
• 表面有機(jī)物去除。

特點(diǎn)：

• RF為200 W的高性能輸出類型（PR200）。
• 由于是尺寸緊湊的臺式機(jī)，很小的位置都可以安裝。
• 同步，自動調(diào)諧，操作簡單（PR200）。
• 等離子體反應(yīng)器（灰化設(shè)備）（PR200）。
• 同步、自動調(diào)諧（PR200）。

技術(shù)參數(shù)：

型號		PR200	PR300	PR301
模式		DP模式，桶型
控制部	高頻輸出	Max300W
	頻率	13.56MHz
	同調(diào)方式	手動2軸同調(diào)方式
反應(yīng)部	反應(yīng)腔	耐熱玻璃 Φ100×160mm	超硬質(zhì)玻璃 Φ64×160mm×3室	耐熱玻璃 Φ118×160mm
	反應(yīng)氣體	1系統(tǒng)（氧氣）流量計(jì)
	控制	手動密閉閥	自動減壓、自動密閉閥
	配管材質(zhì)	不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金		不銹鋼、特氟龍
外形尺寸		W350×D400×H500mm	W438×D520×H556mm	W438×D520×H630mm
重量		約10kg	約36kg	約34kg
電源		AC100V 15A	AC100V 7A