產(chǎn)品特點:
3200片(125*125、156*156)/小時超大產(chǎn)能。
采用第四代全自動配液、補液技術(shù),全面的防酸、防腐措施,保護到機器的每一個角落。
全自動補液技術(shù)。
獨特的硅片干燥處理技術(shù),保證guip干燥不留任何水痕。
成熟的硅片干燥工藝,多種技術(shù)于一身。
彩色大屏幕人機界面操作,方便參數(shù)設(shè)置及多工藝方式轉(zhuǎn)換。
高速移載機械手采用松下伺服程序控制,具有高速、防壓、自動歸正,四點穩(wěn)定抓取,帶鉤抱藍等特點。


















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