產品特點:
3200片(125*125、156*156)/小時超大產能。
采用第四代,全面的防酸、防腐措施,保護到機器的每一個角落。
獨特的硅片干燥技術,保證硅片干燥不留任何水痕。
成熟的硅片干燥工藝,多種技術集于一身。
彩色大屏幕人機操作界面,方便參數設置及多種工藝方式轉換。
高速移載機械手采用松下伺服程序控制,具有高速、防壓、自動歸正,四點穩(wěn)定抓取,帶鉤抱藍等特點。
產品特點:
3200片(125*125、156*156)/小時超大產能。
采用第四代,全面的防酸、防腐措施,保護到機器的每一個角落。
獨特的硅片干燥技術,保證硅片干燥不留任何水痕。
成熟的硅片干燥工藝,多種技術集于一身。
彩色大屏幕人機操作界面,方便參數設置及多種工藝方式轉換。
高速移載機械手采用松下伺服程序控制,具有高速、防壓、自動歸正,四點穩(wěn)定抓取,帶鉤抱藍等特點。
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