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原子層沉積系統(tǒng)ALD

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京華銳捷科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2026/7/3 8:41:13
  • 訪問(wèn)次數(shù)55
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北京華銳捷科技有限公司是一家專營(yíng)化學(xué)化工與材料領(lǐng)域?qū)I(yè)儀器設(shè)備公司。公司業(yè)務(wù)包括儀器設(shè)備的引進(jìn)銷售、方案咨詢以及設(shè)備定制和售后服務(wù)安裝等;公司長(zhǎng)期致力于為實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)領(lǐng)域提供儀器設(shè)備以及整體解決方案。 公司目前代理有BuchiGlass、Buchi、Kruss、Huber、Binder、Brookfield、Vcauubrand、HWS等品牌;產(chǎn)品有玻璃反應(yīng)釜系統(tǒng)、不銹鋼反應(yīng)釜系統(tǒng)、高精度控溫裝置、表界面張力測(cè)試儀、接觸角測(cè)試儀、旋轉(zhuǎn)粘度計(jì)、真空系統(tǒng)、各類箱體以及化學(xué)化工方案定制設(shè)備;行業(yè)涉及化學(xué)化工、生物制藥、新材料、食品等領(lǐng)域,客戶遍布國(guó)內(nèi)各大科研院所、中石油中石化等化工企業(yè)、眾多制藥公司等。
制備液相色譜
01產(chǎn)品介紹產(chǎn)品·參數(shù)原子層沉積系統(tǒng)ALD標(biāo)準(zhǔn)型(Standard)設(shè)備價(jià)格低、質(zhì)量高、可任選附件進(jìn)行搭配結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單
原子層沉積系統(tǒng)ALD 產(chǎn)品信息




01

產(chǎn)品介紹


產(chǎn)品 · 參數(shù)

原子層沉積系統(tǒng)ALD



原子層沉積系統(tǒng)ALD.jpg

標(biāo)準(zhǔn)型(Standard )設(shè)備價(jià)格低、質(zhì)量高、可任選附件進(jìn)行搭配

結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,后期維護(hù)簡(jiǎn)單易行用途廣,適合各種基底材料

原子層沉積系統(tǒng),ALD——擴(kuò)展型(Flexivol)設(shè)備腔室體積可根據(jù)用戶樣品的尺寸靈活調(diào)節(jié),同一腔室可通過(guò)簡(jiǎn)單的調(diào)節(jié)用于不同厚度的樣品

增多前驅(qū)體源入口數(shù)目,避免腔室體積增大對(duì)前驅(qū)體化學(xué)源氣氛分布的影響ALD原子層沉積系統(tǒng)——高度定制化(Non-Standard)設(shè)備為工業(yè)客戶提供薄膜沉積方案放大基于標(biāo)準(zhǔn)研究型設(shè)備檢驗(yàn)的相同技術(shù)根據(jù)客戶的特殊需求,加工定制,滿足特殊應(yīng)用及大規(guī)模的生產(chǎn)需要

研發(fā)(R&D)服務(wù)



02

產(chǎn)品配置


標(biāo)準(zhǔn)套件


多段溫度控制

前驅(qū)體溫控0-200 °C,精度1 °C

腔室溫控0-300 °C ,精度1 °C

進(jìn)出腔室管路溫控0-150 °C ,精度1 °C

基本壓強(qiáng) 10^−1/10^−3 mbar

設(shè)備尺寸 1000x600x1000 mm

觸控控制系統(tǒng)

系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)信息顯示:氣流速度、溫度、壓力和閥門開(kāi)度等

工藝監(jiān)控:溫度和壓力等

偏差報(bào)警和安全鎖

菜單操作,實(shí)時(shí)監(jiān)控

可增配選項(xiàng)

等離子體發(fā)生器 借助等離子化的氣態(tài)原子替代水作為氧化物來(lái)增強(qiáng)ALD性能

臭氧發(fā)生器 提供強(qiáng)氧化劑,增大ALD生長(zhǎng)的前驅(qū)體選擇范圍

石英晶體微天平在線監(jiān)測(cè)薄膜沉積的厚度







關(guān)鍵詞:臭氧發(fā)生器
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