| 詳細(xì)說(shuō)明 |
真空壓力記錄器在較高壓力時(shí)(105～1Pa)利用壓力差U型管壓力計(jì)，麥克勞真空計(jì)，薄膜計(jì)，彈簧管壓力計(jì)等。 在103～10-2Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì)。在低壓力時(shí)，使用將氣體分子電離而測(cè)量的電離真空計(jì)。
表2 真空計(jì)的適用壓力范圍
| 真空計(jì)的名稱 | 可測(cè)的壓力范圍(Pa) |
| 水銀壓力計(jì)(U型管) | 105～102 |
| 油壓力計(jì)(U型管) | 105～102 |
| 油壓力計(jì)(U型管) | 3*103～1 |
| 麥克勞真空計(jì)(一般型和特殊型) | 103～10-3 |
| 彈性變形真空計(jì) | 105～102 |
| 隔膜真空計(jì)(機(jī)械式) | 105～102 |
| 隔膜真空計(jì)(電氣式) | 105～10-3 |
| 電離真空計(jì)(三極管型) | 10-1～10-5 |
| 超高真空用B-A型 | 10-2～10-6 |
| 真空用熱陰極磁控計(jì) | 10-5～10-10 |
| 高真空用(舒爾茨型) | 10～10-2 |
| 冷陰極真空計(jì) | 1～10-5 |
| 皮拉尼真空計(jì) | 104～10-2 |
| 熱電偶真空計(jì) | 102～10-1 |
| 熱敏電阻真空計(jì) | 102～10-1 |
| 粘性真空計(jì) | 1～10-5 |
| 克努曾真空計(jì) | 10-1～10-5 |
復(fù)合真空計(jì)由電阻單元和ZJ-10熱陰極電離單元組成，可測(cè)范圍從高真空至大氣壓?？山右坏絻陕冯娮枰?guī)和一路電離規(guī)。電阻單元采用定溫測(cè)量法，精度高、響應(yīng)快。采用全數(shù)字化校準(zhǔn)方法，無(wú)需工具即可完成電阻規(guī)的校準(zhǔn)。在自動(dòng)模式，電離單元可通過(guò)電阻單元自動(dòng)控制開(kāi)啟和關(guān)閉，防止熱陰極電離規(guī)在低真空狀態(tài)下開(kāi)啟導(dǎo)致?lián)p毀。 技術(shù)參數(shù) ◆ 配用規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)和ZJ-10電離規(guī)
儀器集成了模擬輸出、繼電器控制、串口通訊等功能，適合用于自動(dòng)化要求較高的真空設(shè)備。
◆ 測(cè)量范圍：1.0x105 ~ 3.0x10-4 Pa
◆ 有效范圍：2.5x103 ~ 3.0x10-4 Pa
◆ 控制范圍：2.5x103 ~ 3.0x10-4 Pa
◆ 控制輸出形式：繼電器觸點(diǎn)輸出，常開(kāi)+常閉
◆ 繼電器負(fù)載：3A/220VAC，無(wú)感負(fù)載
◆ 繼電器路數(shù)：4，可任意指定控制單元
◆ 模擬輸出形式：0~10V，0~5V，4~20mA可選
◆ 串行通訊：RS-232或RS-485，Modbus-RTU協(xié)議
◆ 顯示：兩組5位數(shù)碼管，科學(xué)記數(shù)法顯示
◆ 刷新時(shí)間：0.5秒
◆ 供電電源：220VAC/50Hz
◆ 額定功率：35W
◆ 使用環(huán)境：-10~40℃，濕度小于85%
◆ 外形尺寸：240*88*255mm
◆ 儀器重量：約2Kg
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