Hiden RGA 系列殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀(Residual Gas Analysers)用于對真空診斷的精確分析，進行過程中產(chǎn)生氣體的分析。

  · 殘余氣體或泄漏檢測
  · 實質(zhì)泄漏或脫附分析
  · 除氣研究
  · 烘烤周期
  · 泵效能
  · 腔室/過程氣體污染物

特點： 

   · 靈敏度PPM,質(zhì)量數(shù)至300amu
   · 穩(wěn)定性（24小時以上，峰高變化小于±0.5%）
   · MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進行多個系統(tǒng)控制
   · 快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
   · 混合模式掃描，多個窗口顯示信息，例如趨勢、柱狀圖和信號峰
   · 同步顯示數(shù)據(jù)圖，列表
   · 同步背景扣除，自動質(zhì)量數(shù)列表
   · 數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式，至windows設備
   · 即時動態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如
      Excel、SPC-IV統(tǒng)計過程控制軟件等 

HAL RGA 四極質(zhì)譜儀來源于:北京英格海德分析技術有限公司