一、半導(dǎo)體加工用超純水設(shè)備概述

　　半導(dǎo)體是一種介于導(dǎo)體和絕緣體之間的材料，在半導(dǎo)體加工過程中需要使用水進(jìn)行處理，該水質(zhì)的要求比較高，不能含有任何離子雜質(zhì)。半導(dǎo)體加工用超純水設(shè)備采用反滲透技術(shù)和EDI技術(shù)，有效去除原水中的各種雜質(zhì)，保證設(shè)備的出水水質(zhì)滿足半導(dǎo)體加工用水。

　　萊特萊德上海水處理設(shè)備公司致力于成為時(shí)代的水處理企業(yè)，形成了完整的產(chǎn)品體系與項(xiàng)目設(shè)計(jì)體系。專業(yè)提供純化水設(shè)備、超純水設(shè)備、反滲透設(shè)備、水處理設(shè)備等設(shè)備的工程、價(jià)格與行業(yè)解決方案。

　　二、半導(dǎo)體加工用超純水設(shè)備工藝流程

　　預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)(≥18MΩ.CM)

　　預(yù)處理→一級(jí)反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級(jí)反滲透(正電荷反滲透膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)(≥17MΩ.CM)

　　預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)(≥15MΩ.CM)

　　三、半導(dǎo)體加工用超純水設(shè)備優(yōu)點(diǎn)

　　1、無需酸堿再生：在混床中樹脂需要用化學(xué)藥品酸堿再生，而EDI則消除了這些有害物質(zhì)的處理和繁重的工作。保護(hù)了環(huán)境。

　　2、連續(xù)、簡單的操作：在混床中由于每次再生和水質(zhì)量的變化，使操作過程變得復(fù)雜，而EDI的產(chǎn)水過程是穩(wěn)定的連續(xù)的，產(chǎn)水水質(zhì)是恒定的，沒有復(fù)雜的操作程序，操作大大簡便化。

　　3、降低了安裝的要求：EDI系統(tǒng)與相當(dāng)處理水量的混床相比，有較不的體積，它采用積木式結(jié)構(gòu)，可依據(jù)場地的高度和靈活地構(gòu)造。模塊化的設(shè)計(jì)，使半導(dǎo)體加工用超純水設(shè)備在生產(chǎn)工作時(shí)能方便維護(hù)。