拋光混床超純水設備又可稱之為電子級高純水設備或者深度脫鹽水設備。具體組成是自來水由原水儲水箱通過原水增壓泵送入砂過濾器，砂過濾器出水再進入活性炭過濾器，再進入精密過濾器，精密過濾器出水滿足進二級RO主機要求，進入二級反滲透系統(tǒng)，二級反滲透設備出來的脫鹽純水再進入EDI系統(tǒng)，EDI出來再進入電子級拋光混床系統(tǒng)，出來即是超純水。

　　拋光混床超純水設備工藝流程如下

　　自來水→原水箱→原水泵→砂過濾器→碳過濾器→精密過濾器→中間水箱→一級高壓泵→一級RO組件→中間水箱→二級高壓泵→二級RO組件→純水箱→EDI送水泵→濃水回流原水箱→EDI裝置→純水箱→純水輸送泵→拋光混床→用水點

　　拋光混床超純水設備由下列三大部分組成

　　采用美國通用公司GE膜堆各種進口儀表組裝而成，進一步對RO純水(電導率小于3μs/cm)進行脫鹽處理。它具有技術、操作簡便和良好的環(huán)保特性，無需酸堿而能連續(xù)制取高品質純水，出水電阻率穩(wěn)定在15MΩ.cm以上。

　　DI裝置由3臺EDI膜堆和1臺高頻開關電源構成，設有缺水保護。整機有漏電保護，安全可靠。

　　EDI系統(tǒng)配置一套化學清洗系統(tǒng)。主要用途是在EDI膜堆被污染時，用來對EDI系統(tǒng)進行化學清洗，化學清洗裝置與RO清洗裝置共用。

　　拋光混床超純水設備、電子行業(yè)超純水設備以滿足需要用水水質及水量的要求，包括：砂過濾系統(tǒng)、碳過濾系統(tǒng)、反滲透(RO)脫鹽系統(tǒng)、EDI電再生除鹽系統(tǒng)、計量加藥系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和其它輔助系統(tǒng)設備。系統(tǒng)包括設備、閥門、管道、附件及各單元控制設備、儀表及附件等。整個水處理系統(tǒng)的各設備間采用聯(lián)鎖保護，有利于純水設備的安全運行。