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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品簡介： 精密液體氣相發(fā)生器是針對(duì)實(shí)驗(yàn)室 CVD 實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的系統(tǒng)，其液體流量是通過數(shù)字液體泵 來控制， 流量為 80ml/min ，精確度為 0.005ml。液體被蠕動(dòng)泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后，被系統(tǒng)里的加熱裝
置加熱成蒸汽， 然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。本機(jī)能夠?qū)С龆喾N液體， 如 ETOH 、SnCl4 、 TiCl4R、
SiHCl3 和 Zn（C2H5）2，以及多種有機(jī)物混合。對(duì)于研究用 CVD 方法生長納米線和薄膜是的研究設(shè)備。
產(chǎn)品型號(hào) | 精密液體氣相發(fā)生器 |
主要特點(diǎn) | 1 、流體和氣體在一個(gè) 316 不銹鋼罐中加熱。 |
2 、采用 30 段程序化控溫。 3 、氣體流速通過浮子流量計(jì)控制。 4 、配有壓力表，可測出液氣混合罐中的氣體壓強(qiáng)。 5 、配有兩個(gè)不銹鋼針閥，以控制氣體進(jìn)出。 6 、可與本司所有管式爐和 CVD 系統(tǒng)相連接。 | |
7 、已通過 CE 認(rèn)證。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1 、電源： 單相 AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率： 1000W 3、蠕動(dòng)泵：精確度±0.02%FS ，流量 0-80ml/min （可調(diào)） 4、工作溫度： 300℃ |
5 、控溫精度：±1℃ 6、浮子流量計(jì)： 0-2000ml/min （可調(diào)） 7、出氣口： 外徑 1/4″ | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 350mm×335mm×300mm；重量： 5kg |
可選配件 | 加熱帶（纏繞在外接的管道上，以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會(huì)液化。）
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