產(chǎn)品名稱

VTC-16-SM 小型高能直流磁控濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-16-SM

技術(shù)參數(shù)

1、輸入電源： 220VAC 50/60Hz

2、濺射電流： 0-150 mA 可調(diào)

3、功率：＜2KW

4、輸出電壓： 1600VDC（ max）

5、濺射腔體

采用石英腔體，尺寸： 166mm OD x 150mm ID x 290mm H

密封： 采用 O 形密封圈密封

6 、濺射頭&樣品臺(tái)

2 英寸帶水冷的磁控濺射頭（注意：水冷機(jī)不是標(biāo)配） 另有 1 英寸靶頭可選（圖一）

一個(gè)直徑 50mm 不銹鋼樣品臺(tái)，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)， 旋轉(zhuǎn)速率 0-5 RPM    （圖五） 安裝有一可手動(dòng)操作的濺射擋板（圖二、三）

樣品臺(tái)和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍： 30-80mm  （圖二、三）

靶頭支架，可以在非濺射狀態(tài)放置濺射靶頭（圖四）

濺射面積： 4 英寸（ max ）（參考值，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）

圖一           圖二       圖三         圖四           圖五

實(shí)驗(yàn)效果

7 、控制面板

6"PLC 集成觸摸屏控制面板，可控制真空、電流、靶材位置和基片加熱溫度

8 、真空系統(tǒng)

安裝有 KF25 真空接口

對(duì)于濺射各種金屬靶材，需要摸索理想的濺射參數(shù)，下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)

11 、產(chǎn)品外型尺寸

L460 mm × W 330 mm × H 520 mm

凈重： 20 kg （不包含泵及水冷機(jī)）

可選配件

可在本公司選購(gòu)薄膜測(cè)厚儀安裝在濺射儀上（見(jiàn)圖一）

可選加熱樣品臺(tái)，加熱溫度可達(dá) 500℃（見(jiàn)圖二、三）

可選浮子流量計(jì)來(lái)精 確控制進(jìn)氣量（見(jiàn)圖四）

圖一             圖二            圖三           圖四

質(zhì)量認(rèn)證

CE 認(rèn)證

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持

特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)

注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體。

氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥 （設(shè)備標(biāo)配不包括） ，保證氣體的輸出壓力限制在 0.02 兆帕以下，以安全使用。 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶