本設(shè)備是主要用于對低溫氣瓶可能存在的泄露進(jìn)行快速定位和定量測量，檢測靈敏度高、速度快、實用范圍廣，并選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，為諸多檢漏方法中的。

本設(shè)備采用逆擴(kuò)散方式檢漏，被檢工件接在分子泵出氣口一端，基于不同氣體逆擴(kuò)散程度不同，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆向擴(kuò)散由泵腔進(jìn)入進(jìn)氣口的質(zhì)譜室內(nèi)，從而被質(zhì)譜儀捕獲并測出。

主要技術(shù)參數(shù)：

1.最小可檢漏率＜5×10-12Pa•m3/s ；

2.測量范圍：5×10-12～1 Pa•m3/s；

3.允許檢漏口壓強(qiáng)：1000Pa；

4.響應(yīng)時間＜1s；啟動時間＜2min；

5.檢漏口對He抽速：1.3l/s；