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海南電子專用8噸/小時超純水設(shè)備產(chǎn)品參數(shù)
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海南電子專用8噸/小時超純水設(shè)備詳細信息
海南電子專用8噸/小時超純水設(shè)備是針對中大規(guī)模電子制造場景定制的純水制備設(shè)備,額定產(chǎn)水量為8噸/小時,可穩(wěn)定產(chǎn)出符合中國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)標準的超純水,最高出水電阻率可達18.2MΩ·cm,滿足多數(shù)電子元器件、半導體、光伏等生產(chǎn)場景的工藝要求,參考市場價格根據(jù)配置不同從6.8萬-18萬元不等。

海南電子專用8噸/小時超純水設(shè)備
主流制備工藝
目前針對電子行業(yè),最主流的是雙級反滲透+EDI+拋光混床的環(huán)保工藝,完整流程如下:
預(yù)處理單元:原水(市政水/地下水)入原水箱穩(wěn)壓,經(jīng)原水泵加壓后,依次通過多介質(zhì)過濾器(去除泥沙、鐵銹等大顆粒雜質(zhì))→活性炭過濾器(吸附余氯、有機物)→鈉離子軟化器(降低水硬度,防止RO膜結(jié)垢)→5μm精密過濾器,將進水調(diào)整至符合反滲透進水要求(SDI≤5、余氯≤0.1mg/L)。
雙級反滲透深度脫鹽:預(yù)處理出水經(jīng)一級高壓泵送入一級RO膜組,脫除98%以上溶解性鹽類、膠體、微生物,產(chǎn)水進入中間水箱緩沖;再經(jīng)二級高壓泵送入二級RO膜組,進一步脫除殘留離子,二級產(chǎn)水電導率可降至≤2μS/cm@25℃,一級RO濃水可回流利用,整體水回收率可達75%-90%。
EDI深度電去離子:二級RO產(chǎn)水經(jīng)增壓泵送入EDI模塊,依靠電場作用完成深度脫鹽并實現(xiàn)樹脂原位再生,無需酸堿藥劑,此時產(chǎn)水電阻率可達到≥15MΩ·cm@25℃。
終端精處理與殺菌:為滿足電子行業(yè)對純度的要求,EDI產(chǎn)水送入拋光混床進一步深度脫離子,再經(jīng)過254nm紫外線殺菌器殺滅微生物,最后經(jīng)0.05μm終端精密過濾器截留顆粒物,最終產(chǎn)出合格超純水送入無菌純水罐,輸送至各用水點。
核心性能與特點
水質(zhì)達標穩(wěn)定:根據(jù)不同電子生產(chǎn)需求可定制出水等級,最高可滿足一級電子級超純水要求,出水電阻率穩(wěn)定在18.2MΩ·cm,總有機碳(TOC)<1ppb,細菌含量<1CFU/L,符合芯片、面板制造的嚴苛標準。
環(huán)保運維成本低:采用的EDI工藝,無需酸堿再生,沒有化學廢液排放,不存在再生停機間隙,可24小時連續(xù)產(chǎn)水,噸水運行成本僅為傳統(tǒng)離子交換工藝的50%左右,人工運維強度低。
全自動智能控制:整機采用PLC+觸摸屏全自動控制,配備液位自動控制、高低壓保護、在線實時水質(zhì)監(jiān)測、故障自動報警功能,支持遠程監(jiān)控和數(shù)據(jù)追溯,可實現(xiàn)無人值守穩(wěn)定運行。
材質(zhì)合規(guī)耐用:所有與水接觸的管路、罐體均采用衛(wèi)生級304/316L不銹鋼材質(zhì),內(nèi)壁拋光處理,無衛(wèi)生死角,避免二次污染,核心RO膜、EDI模塊采用進口品牌,脫鹽率穩(wěn)定,使用壽命可達3-5年。
主流應(yīng)用場景
半導體領(lǐng)域:晶圓切割、硅片清洗、集成電路封裝測試環(huán)節(jié)的生產(chǎn)用水;
顯示面板領(lǐng)域:LCD、LED、OLED玻璃基板、光學鏡頭清洗用水;
光伏新能源領(lǐng)域:單晶硅/多晶硅切片清洗、光伏電池、光伏玻璃生產(chǎn)用水;
電子元器件領(lǐng)域:PCB/線路板電鍍液配制、成品清洗,鋰電池正負極材料、隔膜生產(chǎn)用水,電解電容器鋁箔清洗用水。
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