1、二次電子分辨率：0.4nm @15kV；0.7nm @1kV；0.8nm @500V；1.2nm @200V；
2、大束流二次電子分辨率：1.9nm@15kV（工作距離10mm，束流6.5nA下）
3、大工作距離分辨率：工作距離WD=10mm時，1kV下分辨率1.0nm；
4、電子束流范圍：最小束流1.0pA，束流50nA；
5、光闌：自加熱式光闌，可保證清潔和無接觸式光闌更換；
7、采用肖特基熱場發(fā)射電子槍；

1、樣品室：內寬340mm，分析工作距離10mm，端口12個；
2、樣品臺：五軸馬達驅動，X移動范圍110mm，Y移動范圍110mm，Z移動范圍65mm，T傾斜角度-15°～+90°，n*360°旋轉；
3、配備電子束減速模式：樣品臺偏壓范圍-4000V至+600V；
4、配備極靴清理模塊,用于清洗極靴內部的灰塵顆粒等污染物；

1、樣品室二次電子探測器1個；
2、透鏡內二次電子探測器1個；
3、透鏡內高敏感背散射電子探測器1個，可在50V電壓下采集背散射電子圖像，適用于各類不導電和導電樣品背散射電子圖像觀察；
4、鏡筒內高分辨二次電子探測器1個，可探測樣品電位襯度；
5、電子束束流計1個；
6、紅外CCD相機1個；
7、宏觀導航相機（安裝在樣品倉內）1個，視野160*105mm，3072*2048像素，具備自動圖像采集、數字變焦、圖像注釋、圖像保存功能；
8、獨立探測器和相機的數量7個；

1、圖像存儲分辨率：60k ×60k像素（非疊加下）；
2、一鍵實現光路自動合軸、自動消像散及自動聚焦；
3、四活動窗口顯示，可同時顯示4幅不同探測器圖像；

1、配置自動圖像拍照和拼接軟件，可實現不小于7×24小時無人值守自動拍照和圖像拼接，可實時對已選定視場進行回溯；
2、電鏡操作應具備取消重做功能，可返回任意一步操作；
3、具有樣品臺圖像導航功能，雙擊鼠標移動樣品功能，鼠標拖曳式放大及對中功能；
4、具有基礎操作應用的向導，使用超鏈接操作電鏡，實現新手快速入門；

1、探測器：硅漂移（SDD）電制冷探測器，60平方毫米有效面積；
2、能量分辨率：在100,000CPS條件下Mn Ka保證優(yōu)于129eV；
3、自動譜峰識別和用戶輔助手動譜峰識別，動態(tài)無標準定量；
4、自動馬達臺控制能譜儀的伸縮，確保能譜儀能自動到達理想探測位置；

可對樣品進行鍍金，適用于場發(fā)射掃描電子顯微鏡觀察

1、碳導電膠5卷，銀膠1管，標準樣品臺100個；
2、UPS電源，10KVA，續(xù)航1小時；