產(chǎn)品簡介
單晶爐應(yīng)用概述
單晶爐是主要用于生產(chǎn)無錯位單晶的設(shè)備。 設(shè)備主要分成兩個部分：
1.在惰性氣體填充環(huán)境內(nèi)，多晶硅等多晶材料將通過石墨加熱器進行融化。
2.設(shè)備內(nèi)部安裝提拉頭，將對融化的多晶材料進行直拉并最終生產(chǎn)出產(chǎn)品。
單晶爐生產(chǎn)過程需輔助配套真空機組，針對單晶爐生產(chǎn)工藝需求，真空機組需求進行專門配置和定制化設(shè)計以符合單晶爐應(yīng)用工藝。
ReM 定制化單晶爐真空機組
冉昆真空科技提供的單晶爐設(shè)備配套真空機組以高效羅茨螺桿真空機組作為主體，機組后端配置消音器可有效降低設(shè)備運轉(zhuǎn)過程中的噪音。 機組前端配置過濾器，該裝置可以選配。 過濾器的添加將有效降低單晶爐中潛在的粉塵顆粒進泵的幾率。 客戶可根據(jù)工況實際情況進行選配。
主體設(shè)備常規(guī)配置：
| 序號 | 泵種 | 設(shè)備型號 | 電機功率，KW | 電機形式 |
| 1 | 羅茨真空泵 | ZJ-150D | 4 | 水冷封閉電機 |
| 2 | 干式螺桿真空泵 | RMD-200D | 7.5 | 水冷封閉電機 |
如上機組型號： RMDJL150-T
結(jié)合單晶爐運行特點，機組配置針對電氣控制、保護裝置。 機組可有效對運行溫度水平進行監(jiān)控。。當(dāng)出現(xiàn)高溫情況，將分別進行報警和停機 另，機組配置定制化電控箱，可有效進行機組控制等操作。 同時機組真空度、氮氣氣源皆可通過調(diào)節(jié)閥、壓力表分別進行控制和監(jiān)控。另，選配方面針對機組前端過濾器，機組可通過進行壓差檢測，并實時對濾芯堵塞狀態(tài)進行提示和報警。
RMDJL150-T 型羅茨螺桿真空機組性能參數(shù)列表：
| 機 組 型 號 | 單位 | RMDJL150-T | |
|
抽 氣 速 率 | L/S | 175/210 | |
| m3/h | 630/756 | ||
|
極 限 真 空 | Pa | ≤0.2/0.1 | |
| Torr | ≤1.5X10-3/≤7.5X10-4 | ||
|
水冷密封電機 | 頻率 | Hz | 50/60 |
| 電壓 | V | 380 | |
| 功率 | kW | 3+4.5 | |
|
轉(zhuǎn)速 | 羅茨真空泵 ZJ-150D | rpm |
2900/3480 |
| 干式螺桿真空泵 RMD-200D | rpm | 2900 | |
|
氮氣 | 壓力 | MPa | 0.05-0.1 |
| 流量 | l/min | 6-20 | |
|
冷卻水 | 壓力 | MPa | 0.2-0.4 |
| 壓力差 | MPa | 0.1 | |
| 溫度 | ℃ | 10-30 | |
| 流量 | l/min | 3-5 | |
| 進氣口徑 | mm | DN100 | |
| 排氣口徑 | mm | DN40 | |
| 重 量 | Kq | 600 | |
| 噪 音 | dB（A） | 72 | |
| 外形尺寸（長×寬×高） | mm | 1000×660 ×1050 | |
RMDJL150-T 型螺桿真空機組供貨范圍
| 序號 | 設(shè)備名稱 | 數(shù)量 | 單位 | 備注 |
| 機械部分 |
| |||
| 1 | ZJ-150D羅茨真空泵 | 1 | 臺 |
|
| 2 | RMD-200D 螺桿真空泵 | 1 | 臺 |
|
| 3 | 減震墊 | 4 | 個 |
|
| 4 | 機組底座 | 1 | 套 | 配置萬向輪 |
| 5 | 消音器 | 1 | 個 |
|
| 6 | 副水箱 | 1 | 個 |
|
| 7 | 過濾器 | 1 | 臺 | 可選配置 |
| 電氣閥門部分 | ||||
| 8 | 水冷封閉電機 | 2 | 臺 |
|
| 9 | 水溫檢測器 | 1 | 個 |
|
| 10 | 氮氣壓力表 | 1 | 個 |
|
| 11 | 壓力調(diào)節(jié)閥 | 1 | 個 |
|
| 12 | 電磁壓差閥 | 1 | 個 | 可選配置 |
| 13 | 電控箱 | 1 | 個 | 可選配置 |
| 管路部分 | ||||
| 14 | 電源、氣源、水路接口 | 1 | 套 |
|
| 15 | 波紋管（DN40） | 1 | 個 |
|
| 16 | 波紋管（DN100） | 1 | 個 | 可選配置 |
| 17 | 過濾器電磁壓差閥 | 1 | 個 | 可選配置 |
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