CZKF-1000型超級(jí)輪式石英真空封管機(jī)

一、系統(tǒng)簡(jiǎn)介

CZKF-1000型超級(jí)輪式石英管焊接設(shè)備系統(tǒng)主要大管徑的石英管封口，其系統(tǒng)包含氫氧焰熔封機(jī)、玻璃管臥式封管機(jī)床、立式封管機(jī)、真空機(jī)組等其他附件。標(biāo)準(zhǔn)化定制的精密石英管接頭保證與石英管精確匹配，確保石英管的密封性，完成真空封管。超級(jí)石英管焊接設(shè)備系統(tǒng)是一款專為石英管精密焊接研發(fā)的一體化智能裝備，整合了的焊接工藝、自動(dòng)化控制技術(shù)與安全防護(hù)體系，打破傳統(tǒng)人工焊接與普通設(shè)備的局限，實(shí)現(xiàn)石英管焊接的高精度、高效率、高穩(wěn)定性與高安全性，廣泛適配半導(dǎo)體、光伏、實(shí)驗(yàn)室、域?qū)κ⒐苓B接的嚴(yán)苛要求，是石英制品加工環(huán)節(jié)中核心生產(chǎn)設(shè)備。

三、適用領(lǐng)域

1、超級(jí)石英管焊接設(shè)備系統(tǒng)憑借其高精度、高穩(wěn)定性與廣泛兼容性，已廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域，成為石英制品加工的核心裝備：

2、半導(dǎo)體行業(yè)：用于石英爐管、石英舟、晶圓載體等部件的焊接與密封，保障半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的耐腐蝕、耐高溫、同源潔凈環(huán)境，適配垂直梯度溫度凝固法（VGF）、VB法生長(zhǎng)砷化鎵和磷化銦等體單晶生產(chǎn)需求。

3、光伏行業(yè)：適配石英舟、石英舟托等光伏組件的自動(dòng)化焊接，提升光伏產(chǎn)品的穩(wěn)定性與使用壽命，助力光伏產(chǎn)業(yè)規(guī)?；a(chǎn)。

4、實(shí)驗(yàn)室與科研領(lǐng)域：用于實(shí)驗(yàn)室石英反應(yīng)管、石英樣品管的焊接與真空封口，滿足無(wú)氧無(wú)水樣品保存、材料合成等科研需求，適配各類實(shí)驗(yàn)爐的石英部件加工。

5、領(lǐng)域：用于醫(yī)療石英導(dǎo)管、石英傳感器等精密部件的焊接，滿足醫(yī)

療產(chǎn)品的高潔凈度、高精度要求。

6、其他領(lǐng)域：還可應(yīng)用于航空航天、新材料研發(fā)、化工等領(lǐng)域，適配石英管、

石英器件的精密焊接與密封處理。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

1、石英管壁和內(nèi)置石英柱高溫熔接或拉絲石英管封口方式都可，大管徑適合推薦使用加內(nèi)塞封口的方式；

2、動(dòng)密封自動(dòng)旋轉(zhuǎn)、操作簡(jiǎn)單，受熱均勻。

3、預(yù)留標(biāo)準(zhǔn)快捷接口，方便連接真空系統(tǒng)，及石英管安裝固定。

4、結(jié)構(gòu)緊湊，精密設(shè)計(jì)，體積小巧，操作方便。

5、操作方便，即學(xué)即用，安全可靠。

三、主要技術(shù)參數(shù)

1、可配置工位數(shù)：4個(gè)

2、真空漏率：2x10-11 Pa•m3/S

3、采用電解水技術(shù)產(chǎn)生氫氧火焰，產(chǎn)氣量(升/時(shí))：0-11000（0-99.99%無(wú)極可調(diào)）氫氧火焰溫度≥3000℃ , 功率≤ 30KW；

備氣壓保護(hù)：當(dāng)壓力達(dá)到0.3Mpa的時(shí)候，設(shè)備會(huì)自動(dòng)停止產(chǎn)氣，低于0.08Mpa時(shí)設(shè)備自動(dòng)恢復(fù)產(chǎn)氣；

5、設(shè)備配備：火焰槍自帶阻火器、管道上配備阻火器、機(jī)器內(nèi)部有濕式防回火系統(tǒng)、壓力控制、泄壓系統(tǒng)等安全防護(hù)裝置。全力保障設(shè)備使用的安全性；

6、顯示方式：圖形化顯示機(jī)器運(yùn)行狀態(tài)，設(shè)備故障報(bào)警、故障解決方案均顯示在屏幕上，導(dǎo)航式設(shè)備操作步驟提示

7、封管結(jié)構(gòu)：采用圓形結(jié)構(gòu)，每組火焰槍呈半圓形旋轉(zhuǎn)，左右兩組火嘴，每組為3個(gè)噴嘴，左右各1組，共2組；

8、旋轉(zhuǎn)方式：上下旋轉(zhuǎn)，火焰槍固定于圓形支架，可上下同步旋轉(zhuǎn)130 度；

氫氧火焰溫度高達(dá)3000度。

9、氣氛和真空：具體單獨(dú)充保護(hù)氣體的接口和真空泵連接接口。

10、固定玻璃管夾具的支架與熔封火焰架裝在同一個(gè)機(jī)架上，此為同一個(gè)整體框架便于同步操作

11、機(jī)身可翻轉(zhuǎn)傾斜≥20 ° , 可密封長(zhǎng)度超過(guò)1米的石英管；

12、高真空分子泵組，抽速≥80L/s，工作真空優(yōu)于10-5Pa 。

13、分子泵組采用一鍵控制啟停，內(nèi)置可控復(fù)合全量程真空規(guī)，帶有電子排氣閥實(shí)現(xiàn)自動(dòng)放氣；

14、主機(jī)左側(cè)選用國(guó)產(chǎn)品牌抽速≥2L/s機(jī)械式真空泵，真空泵接口與封管設(shè)備接口采用標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭接口形式，與真空封管機(jī)即接即用，不需對(duì)接口再次改造；

15、機(jī)架上設(shè)有一個(gè)支撐點(diǎn)，用于支撐玻璃管和固定玻璃管，可左右移動(dòng)；

16、尺寸：1505*915*1985mm

17、毛重(kg)：980Kg