涂裝廢氣、烤箱廢氣所產(chǎn)生的有機(jī)物在等離子體光催化中的氧化降解主要有以下幾個(gè)過程：

⊙ 高能電子的作用下了產(chǎn)生氧化性的自由基O、OH、HO2。

⊙ 有機(jī)物分子受到高能電子碰撞，被激發(fā)及原子鍵斷裂形成小碎片基團(tuán)或原子。

⊙ O、OH、HO2 與激發(fā)原子有機(jī)物分子、破碎的分子基團(tuán)、自由基等一系列自由基反應(yīng)。

等離子體中的離子、電子、激發(fā)態(tài)原子、分子及自由基都是極活潑的反應(yīng)性物種，使通常條件下難以進(jìn)行或速度很慢的反應(yīng)變得快速，它們再進(jìn)一步與污染物分子、離子反應(yīng),從而使污染物得到降解，尤其有利于難降解污染物的處理。

另外，由于活性離子和自由基氣體放電時(shí)一些高能激發(fā)粒子向下躍遷能產(chǎn)生紫外光線，當(dāng)光子或電子的能量大于半導(dǎo)體禁帶寬度時(shí)，就會激發(fā)半導(dǎo)體內(nèi)的電子，使電子從價(jià)帶躍遷至導(dǎo)帶，形成具有很強(qiáng)活性的電子空穴對，并進(jìn)一步誘導(dǎo)一系列氧化還原反應(yīng)的進(jìn)行。光生空穴具有很強(qiáng)的獲得電子能力，可與催化劑表面吸附的O2 和H2O發(fā)生反應(yīng)生成羥基自由基，從而進(jìn)一步氧化污染物。由于等離子體放電光催化過程有大量高能電子沖擊、活性粒子、紫外線輻射等綜合因素的協(xié)同作用，因而可以更快速有效地分解空氣中有害物質(zhì)和滅菌除臭。

等離子體光催化它集合了等離子和光催化的優(yōu)點(diǎn)，優(yōu)勢互補(bǔ)，而且兩者之間能夠起到協(xié)同作用，克服雙方存在的缺點(diǎn)，相互促進(jìn),，因而對空氣污染物具有優(yōu)良的去除效果。開瑞環(huán)保等離子體光催化技術(shù)具有凈化效率高、能耗低、適應(yīng)性廣、光催化劑自動(dòng)活化等優(yōu)點(diǎn)，在去除有機(jī)廢氣中顯示非常好的效果。