多晶硅行業(yè)尾氣（四氯化硅）回收系統(tǒng)

一、概述

 四氯化硅尾氣回收系統(tǒng)是專門應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)線的尾氣回收裝置，利用本回收系統(tǒng)將廢氣回收成二氧化硅和鹽酸，經(jīng)產(chǎn)品投放市場，取得了良好的經(jīng)濟(jì)效益。

生產(chǎn)多晶硅是一個提純過程，主要原料是三氯氫硅，再用氫氣進(jìn)行一次性還原，這個過程中的三氯氫硅轉(zhuǎn)化為多晶硅，其余大量進(jìn)入尾氣，同時形成副產(chǎn)品——四氯化硅。四氯化硅是高危產(chǎn)品，遇空氣遇水會產(chǎn)生對人體有害的。在這個過程中，如果回收工藝不成熟，三氯氫硅、四氯化硅、、氯氣等有害物質(zhì)有可能外溢，存在污染隱患。而且多晶硅與四氯化硅的生成比例為1：15，即生產(chǎn)一噸多晶硅，就需要處理15噸的四氯化硅，處理量非常大。目前國內(nèi)處理多晶硅在技術(shù)上已經(jīng)開創(chuàng)出了兩個方式，一是將四氯化硅熱氫化后再生成生產(chǎn)多晶硅的原料，可以回收利用一部分四氯化硅，但不能回收，還是會產(chǎn)生污染。還有就是通過化工工藝將四氯化硅轉(zhuǎn)化成高附加值的化工產(chǎn)品，即無毒無害的二氧化硅，我公司經(jīng)過幾年的實踐與應(yīng)用，成功地將本技術(shù)應(yīng)用于本行業(yè)中，將尾氣“變廢為寶”。

二、工作原理

（1）、四氯化硅提純：

因四氯化硅中含有一些雜質(zhì)，為了得到品質(zhì)高的二氧化硅和鹽酸，將四氯化硅在蒸發(fā)器中蒸發(fā)，再經(jīng)精餾塔提純，使其得到純度非常高的四氯化硅氣體。

（2）、四氯化硅水解：

純的四氯化硅氣體進(jìn)入到水解塔內(nèi)，同時循環(huán)液通過泵的作用使循環(huán)液均勻分布到各個霧化器當(dāng)中，通過霧化器向下噴淋。與進(jìn)入水解塔內(nèi)的四氯化硅發(fā)生反應(yīng)，形成硅酸及。

（3）、二氧化硅的形成：

硅酸進(jìn)入壓濾系統(tǒng)進(jìn)行壓濾成為濾餅，再進(jìn)入干燥機(jī)干燥后形成純度很高的二氧化硅。

（4）、回收鹽酸：

進(jìn)入降膜回收裝置，氣體與水反應(yīng)生成鹽酸。同時冷卻水進(jìn)入本裝置內(nèi)對進(jìn)行冷卻，以增加的回收效率。

沒有反應(yīng)完的再進(jìn)入下級吸收塔內(nèi)，再進(jìn)行一次鹽酸的回收，氣體達(dá)標(biāo)排放。

三、技術(shù)規(guī)格性能參數(shù)

本回收處理系統(tǒng)需根據(jù)多晶硅的生產(chǎn)量及具體情況進(jìn)行有針對性的設(shè)計選型，詳情請與我公司聯(lián)系。