PCT-SX-1DL電流單軸傾角傳感器
該系列傾角傳感器由我公司自行研制,用于測(cè)量單軸傾角的傳感器。它采用高精度MEMS芯片,儀器級(jí)精度,具有BIMOS信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求,制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性,并具有自檢測(cè)(Self-Test)功能,可實(shí)現(xiàn)BIT(Built-In-Test)檢測(cè).具有數(shù)字和模擬兩種輸出形式。該產(chǎn)品隨溫度和時(shí)間的變化仍有的可靠性和穩(wěn)定性。此外,它還具有高分辨率、低噪聲、承受高過(guò)載的特點(diǎn)。
本產(chǎn)品可用于傾角測(cè)量?jī)x器、位置測(cè)量、加速度和運(yùn)動(dòng)測(cè)量、汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、地震監(jiān)控等測(cè)量系統(tǒng)中。
二、原理
該系列單軸傾角變送器是依據(jù)加速度傳感器傾斜后的角度與重力加速度成函數(shù)關(guān)系的原理來(lái)測(cè)量?jī)A角的。加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu),并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來(lái)測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn),從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。
三、技術(shù)條件
1)供電
1.1 供電電壓(V.DC) +24
1.2 輸入電流(mA) <45
2)性能
2.1測(cè)量范圍(°) ±45
2.2零位(0g)偏置電壓(mA) 12±0.1
2.3偏置溫漂溫度系數(shù)(mg/℃) ±0.1
2.4 輸出靈敏度(mA/g) 11.3137±1
2.5滿量程輸出電流Iout(mA) 4~20
2.6非線性度(%) ≤±0.5
2.8帶寬(HZ,-3 dB) 0~10
2.9輸出噪聲密度(μg/√Hz) 15
2.10長(zhǎng)期穩(wěn)定性(mg) 0.25
四、工作環(huán)境
1)使用溫度(℃) -40~+125
2)儲(chǔ)存溫度(℃) -55~+125
3)耐加速度:
3.1任意軸,不供電(g) >10000
3.2任意軸,供電(g) >10000

















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