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制藥網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>通用機(jī)械及設(shè)備>其它通用設(shè)備>控制器> K1000質(zhì)量流量控制器

  • K1000質(zhì)量流量控制器
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品牌

廠商性質(zhì)

其他

型號(hào)

訪問次數(shù)

156

產(chǎn)地

北京市

更新時(shí)間

2026/3/10 14:15:14

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產(chǎn)品簡介

K1000為高精度,高穩(wěn)定性的熱式質(zhì)量流量控制器。它的量程范圍從10sccm到1000sccm,K1000A為小流量量程MFC(從10sccm~50slm),具備多氣體多量程功能,8種BIN Size能對(duì)應(yīng)10sccm~50slm的所有流量,在校正時(shí)事先設(shè)定4種氣體的數(shù)據(jù),通過軟件即可進(jìn)行氣體種類、流量的變更設(shè)定,操作簡便;K1000C為大流量量程(200slm~1000slm),響應(yīng)速度快(≤3......

K1000質(zhì)量流量控制器詳細(xì)信息

優(yōu)勢(shì)

? 傳感器部分采用哈氏合金,耐腐蝕性強(qiáng)。
? 產(chǎn)品精度高,可達(dá)99%~25%:±1.0% of S.P.、25%~2%:±0.25%F.S. 響應(yīng)時(shí)間快(≤1s)
? 產(chǎn)品具有多氣體多量程功能,可對(duì)氣體種類、流量的變更設(shè)定
? 支持大流量(可到1000L)數(shù)字模式通訊模式
? 產(chǎn)品通過CE、RoHS認(rèn)證

技術(shù)參數(shù)

型號(hào) 

K1000A

K1000B

K1000C

流量規(guī)格(N2換算流量)

   Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM  

 

  

 

 

 

Bin 2: 30 SCCM ~100SCCM 

         Bin 6: 3SLM ~10SLM

 

     60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

 

   Bin 3: 100SCCM~300SCCM

         Bin 7: 10SLM~ 30SLM

                  Bin 8: 30 SLM ~50SLM

   150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600SLM、1000SLM(N2, H2, Air 等)

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

 

 

 

 

 

    Bin 5: 1SLM ~3SLM

 

 

 

 

 

閥類型

N/O:常開型、N/C:常閉型

N/C:常閉型

流量控制范圍

2%~99%F.S.

準(zhǔn)確度

99%~25%:±1.0% of S.P.,
25%~2%:±0.25%F.S.
(精度保證范圍15~35℃)

±1%F.S.(精度保證范圍15~35℃)

±2%F.S.(精度保證范圍15~35℃)

工作環(huán)境溫度

5~50℃

5~45℃

響應(yīng)時(shí)間

≦1sec

≦3sec

線性

±0.5%F.S.

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

工作壓差范圍

 

 N/O   100~300KPa (3SLM~10SLM)

 

 

 

 

            50~300KPa

 N/O  150~300KPa (11SLM~30SLM)

200~300KPa

 

 

 

   (Ar: 100~300KPa)

N/C  100~300KPa (3SLM~30SLM)

(Ar: 250~450KPa)

  100~300KPa

  150~300KPa

300~450kPa  (H2:150~300kPa)

 

(Ar 200~3500KPa)

 

 

 

 

溫度系數(shù)

Zero:±0.1%F.S./℃   Span: ±0.1%F.S./℃

工作壓力

400KPa(Ar:500KPa)

700KPa

耐壓

1MPa  

漏率

金屬密封:1×10-11Pa?m3/sec He (1×10-10 atm?cc/sec He)

橡膠圈密封:1×10-7Pa?m3/sec He (1×10-6 atm?cc/sec He)

橡膠圈密封:1×10-7Pa?m3/sec He (1×10-6 atm?cc/sec He)

密封材料

金屬密封;氟橡膠;氯丁橡膠

氟橡膠;氯丁橡膠

通訊形式

模擬:0~5V DC   數(shù)字:RS485、DeviceNet、EtherCAT

模擬:0~5V DC   數(shù)字:RS485、DeviceNet、

電源

模擬/數(shù)字:+15VDC 50mA,-15VDC 200mA; DeviceNet:+11~+24VDC,5.5VA(5.5W)

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

VCR 1/4陽接頭、雙卡套1/4陽接頭 、 1.5'' W-Seal、1.125'' W-Seal、 1.125'' C-Seal

VCR 3/8陽接頭、雙卡套3/8陽接頭 

VCR 1/2陽接頭、雙卡套1/2陽接頭 

重量

1.0kg

3.0kg

3.7kg

 

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關(guān)鍵詞:傳感器

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