激光共焦顯微鏡
OLS5000激光共焦顯微鏡可測量亞微米級的形貌和表面粗糙度。數(shù)據(jù)采集比奧林巴斯以前的顯微鏡型號快四倍，從而大大提高了生產(chǎn)效率。
高分辨率，成像
憑借對各種類型樣品進(jìn)行3D測量的能力，系統(tǒng)可提供用于質(zhì)量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)。
該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度，從而縮短您的掃描時(shí)間，簡化您的工作流程，終實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。
應(yīng)用：
· MEMS掃描PEAK算法
· 雙共焦系統(tǒng)
· Sq噪聲（測量噪聲）保證
· 準(zhǔn)確性和重復(fù)性均可保證
· 混合匹配算法
· 混合阻尼機(jī)構(gòu)
· HDR掃描
型號 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
總倍率 | 54x - 17,280x | |||||
視場直徑 | 16 μm - 5,120 μm | |||||
測量原理 | 光學(xué)系統(tǒng) | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 | ||||
光接收元件 | 激光 ：光電倍增管（2ch） | |||||
高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5 納米 | ||||
動態(tài)范圍 | 16 位 | |||||
重復(fù)性 n-1 *1 *2 *5 | 5X : 0.45 μm, 10X : 0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm | |||||
準(zhǔn)確度 *1 *3 *5 | 0.15 + L/100μm（L: 測量長度 [μm]） | |||||
拼接圖像準(zhǔn)確度 *1 *3 *5 | 10X ： 5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率 : 1.0+L/100 μm（L: 拼接高度 [μm]） | |||||
測量噪聲（Sq 噪聲） *1 *4 *5 | 1 納米 | |||||
寬度測量 | 顯示分辨率 | 1 納米 | ||||
重復(fù)性 3 n-1 *1 *2 *5 | 5X : 0.4 μm, 10X : 0.2 μm, 20x : 0.05 μm, 50X : 0.04 μm, 100X : 0.02 μm | |||||
準(zhǔn)確度 *1 *3 *5 | 測量值 +/- 1.5% | |||||
拼接圖像準(zhǔn)確度 *1 *3 *5 | 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm（L: 拼接長度 [mm]） | |||||
圖像解析度 | 4096 x 4096 | |||||
圖像拼接像素 | 3600 萬像素 | |||||
XY 載物臺配置 | 長度測量模塊 | ? | 無 | 無 | ? | 無 |
移動范圍 | 100 x 100 mm | 100 x 100 mm | 300 x 300 mm | 100 x 100 mm | 100 x 100 mm | |
樣品高度 | 100 mm | 40 mm | 37 mm | 210 mm | 150 mm | |
激光光源 | 波長 | 405 nm | ||||
輸出 | 0.95 mW | |||||
激光安全等級 | 2 級 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
白光光源 | 白光 LED | |||||
電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |
質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約 31 公斤 | 約 32 公斤 | 約 50 公斤 | 約 43 公斤 | 約 44 公斤 |
控制箱 | 約 12 公斤 |
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