MCS系列氣體質(zhì)量流量控制器用于控制氣體質(zhì)量流量，同時實時測量質(zhì)量流量、體積流量、管線壓力和管線溫度，可用流量量程跨度寬，內(nèi)置多種氣體校準，帶顯示控制屏，無須配備其他顯示控制設備。MCS產(chǎn)品可用于腐蝕性氣體。

產(chǎn)品特點

 

量程低至0.5SCCM

寬量程比：100:1

響應時間：10ms

無需預熱時間

多功能數(shù)字顯示屏，帶摁鍵背光

內(nèi)置98種常用氣體，可編輯混合氣體

測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力

 

技術參數(shù)

 

量程范圍：0.5SCCM~5000SLPM（中間量程可標定）

精度：標準精度±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程，（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）

重復性：±0.2%

量程比：100：1

溫度范圍：-10~60℃

溫度精度：±0.75℃

溫度漂移：0.02%滿量程/℃

耐壓：160PSIA（更高選項請來電垂詢）

壓力漂移：± (0.08% of Reading + 0.02% of Full Scale) / atm  from calibration conditions

壓力精度：>1atm:±0.5%讀數(shù)

          <1atm:±0.07PSIA

防護等級：IP40

濕度范圍：0~95%不凝結

接液材質(zhì)：302&303不銹鋼，Viton等多種材質(zhì)

模擬信號：0-5VDC；1-5VDC；4-20mA；0-10VDC

數(shù)字信號：RS232；RS485

通訊協(xié)議：Modbus；Devicenet；EtherCAT；Profibus

標準電氣連接：DB9 male（其他連接方式可選）

供電電源：12-30VDC 250mA min

訂貨參數(shù)

氣體種類

量程范圍（標準狀態(tài)下量程）

使用壓力

使用溫度

精度要求

輸入輸出信號