MCS系列氣體質(zhì)量流量控制器用于控制氣體質(zhì)量流量，同時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量質(zhì)量流量、體積流量、管線壓力和管線溫度，可用流量量程跨度寬，內(nèi)置多種氣體校準(zhǔn)，帶顯示控制屏，無須配備其他顯示控制設(shè)備。MCS產(chǎn)品可用于腐蝕性氣體。

產(chǎn)品特點(diǎn)

 

量程低至0.5SCCM

寬量程比：100:1

響應(yīng)時(shí)間：10ms

無需預(yù)熱時(shí)間

多功能數(shù)字顯示屏，帶摁鍵背光

內(nèi)置98種常用氣體，可編輯混合氣體

測(cè)量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力

 

技術(shù)參數(shù)

 

量程范圍：0.5SCCM~5000SLPM（中間量程可標(biāo)定）

精度：標(biāo)準(zhǔn)精度±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程，（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）

重復(fù)性：±0.2%

量程比：100：1

溫度范圍：-10~60℃

溫度精度：±0.75℃

溫度漂移：0.02%滿量程/℃

耐壓：160PSIA（更高選項(xiàng)請(qǐng)來電垂詢）

壓力漂移：± (0.08% of Reading + 0.02% of Full Scale) / atm  from calibration conditions

壓力精度：>1atm:±0.5%讀數(shù)

          <1atm:±0.07PSIA

防護(hù)等級(jí)：IP40

濕度范圍：0~95%不凝結(jié)

接液材質(zhì)：302&303不銹鋼，Viton等多種材質(zhì)

模擬信號(hào)：0-5VDC；1-5VDC；4-20mA；0-10VDC

數(shù)字信號(hào)：RS232；RS485

通訊協(xié)議：Modbus；Devicenet；EtherCAT；Profibus

標(biāo)準(zhǔn)電氣連接：DB9 male（其他連接方式可選）

供電電源：12-30VDC 250mA min

訂貨參數(shù)

氣體種類

量程范圍（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下量程）

使用壓力

使用溫度

精度要求

輸入輸出信號(hào)