SVG-3HM微機型寬量程真空計
微機型寬量程真空計 SVG-3HM 系列熱陰極電離真空計采用PID穩(wěn)發(fā)射自動調節(jié)，該系列真空計具有使用方便，操作簡單，測量一致性好，抗干擾能力強等特性，為滿足當前真空設備自動化控制的要求，該系列真空計集繼電器控制，串行通訊，模擬量輸出等功能于一身。
性能
電離規(guī)暴露大氣保護
電離規(guī)陽極電壓可控
電離規(guī)正常工作狀態(tài)判斷(避免因規(guī)管故障造成誤操作）
1．測量與控制范圍: 1.0×101～1.0×10-5Pa
2．控制精度: ≤3%
3．配用規(guī)管: 電離規(guī)：ZJ－27
4．電離規(guī)電參數(shù)：陽極對地電壓：225V±2%
陰極中心對地電壓：25V±3%
發(fā)射電流：1.0×101-1.0×10-1Pa/ 0.1mA±3%
1.0×10-1-1.0×10-5Pa/ 1mA±3%
除氣方式：焦耳除氣 / 除氣功率≤25W
規(guī)管靈敏度：0.15Pa-1
5．離子流放大器滿度示值誤差：≤3%
6．采樣時間: 1s
7．控制繼電器觸點容量: AC220V/ 3A
8．供電: AC50Hz / 220V±10% / 60W
9．使用環(huán)境: 溫度0～40℃ 濕度≤95%
10．面板尺寸: 270×100 mm2
機箱尺寸: 240×280×90mm3
主要特點與優(yōu)勢
寬域連續(xù)測量：無需手動更換多臺真空計，從大氣壓直達高真空，避免斷檔；
高精度與穩(wěn)定性：微處理器數(shù)字濾波 + 溫度補償，抗干擾強，重復性好；
自動化與集成：支持 PLC/DCS 接入、遠程監(jiān)控、閾值報警與泵 / 閥聯(lián)鎖控制；
維護便捷：部分型號支持規(guī)管熱清洗 / 除氣，延長壽命。
適用場景
半導體 / 光伏：薄膜沉積、刻蝕、真空封裝；
真空冶金 / 熱處理：真空爐、電子束焊；
科研：粒子加速器、質譜儀、真空腔體；
其他：真空鍍膜、凍干設備、檢漏系統(tǒng)。
選型與安裝要點
量程匹配：確認工藝壓力范圍（例如僅需粗真空則無需電離規(guī)，成本更低）；
規(guī)管類型：冷陰極耐污染、無燈絲、壽命長；熱陰極靈敏度高但燈絲易損；
接口與通信：工業(yè)現(xiàn)場優(yōu)先 4-20mA + RS485 Modbus；
安裝：避免規(guī)管直對氣流 / 油霧，防污染；保證密封（KF/ISO 法蘭）；
環(huán)境：溫度范圍、抗振動、電磁干擾防護等級（IP54 等）。
日常維護
定期檢查規(guī)管清潔度，必要時進行除氣或更換；
每年校準一次，確保精度；
避免大氣壓下長時間開啟電離規(guī)，防止規(guī)管過熱損壞。
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