SVG-3HM微機(jī)型寬量程真空計

微機(jī)型寬量程真空計 SVG-3HM 系列熱陰極電離真空計采用PID穩(wěn)發(fā)射自動調(diào)節(jié)，該系列真空計具有使用方便，操作簡單，測量一致性好，抗干擾能力強(qiáng)等特性，為滿足當(dāng)前真空設(shè)備自動化控制的要求，該系列真空計集繼電器控制，串行通訊，模擬量輸出等功能于一身。

性能

電離規(guī)暴露大氣保護(hù)

電離規(guī)陽極電壓可控

電離規(guī)正常工作狀態(tài)判斷(避免因規(guī)管故障造成誤操作）

1．測量與控制范圍: 1.0×101～1.0×10-5Pa

2．控制精度: ≤3%

3．配用規(guī)管: 電離規(guī)：ZJ－27

4．電離規(guī)電參數(shù)：陽極對地電壓：225V±2% 

    陰極中心對地電壓：25V±3%

    發(fā)射電流：1.0×101-1.0×10-1Pa/ 0.1mA±3%

    1.0×10-1-1.0×10-5Pa/ 1mA±3%

    除氣方式：焦耳除氣 / 除氣功率≤25W

    規(guī)管靈敏度：0.15Pa-1

5．離子流放大器滿度示值誤差：≤3% 

6．采樣時間: 1s

7．控制繼電器觸點容量: AC220V/ 3A

8．供電: AC50Hz / 220V±10% / 60W 

9．使用環(huán)境: 溫度0～40℃ 濕度≤95% 

10．面板尺寸: 270×100 mm2

    機(jī)箱尺寸: 240×280×90mm3

主要特點與優(yōu)勢

寬域連續(xù)測量：無需手動更換多臺真空計，從大氣壓直達(dá)高真空，避免斷檔；

高精度與穩(wěn)定性：微處理器數(shù)字濾波 + 溫度補(bǔ)償，抗干擾強(qiáng)，重復(fù)性好；

自動化與集成：支持 PLC/DCS 接入、遠(yuǎn)程監(jiān)控、閾值報警與泵 / 閥聯(lián)鎖控制；

維護(hù)便捷：部分型號支持規(guī)管熱清洗 / 除氣，延長壽命。

適用場景

半導(dǎo)體 / 光伏：薄膜沉積、刻蝕、真空封裝；

真空冶金 / 熱處理：真空爐、電子束焊；

科研：粒子加速器、質(zhì)譜儀、真空腔體；

其他：真空鍍膜、凍干設(shè)備、檢漏系統(tǒng)。

選型與安裝要點

量程匹配：確認(rèn)工藝壓力范圍（例如僅需粗真空則無需電離規(guī)，成本更低）；

規(guī)管類型：冷陰極耐污染、無燈絲、壽命長；熱陰極靈敏度高但燈絲易損；

接口與通信：工業(yè)現(xiàn)場優(yōu)先 4-20mA + RS485 Modbus；

安裝：避免規(guī)管直對氣流 / 油霧，防污染；保證密封（KF/ISO 法蘭）；

環(huán)境：溫度范圍、抗振動、電磁干擾防護(hù)等級（IP54 等）。

日常維護(hù)

定期檢查規(guī)管清潔度，必要時進(jìn)行除氣或更換；

每年校準(zhǔn)一次，確保精度；

避免大氣壓下長時間開啟電離規(guī)，防止規(guī)管過熱損壞。

SVG-3HM微機(jī)型寬量程真空計