MarSurfWI系列是Mahr新研發(fā)光學(xué)3D表面輪廓儀產(chǎn)品，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器;根據(jù)配置和應(yīng)用的不同，分為WI50M，WI50和WI100三個型號

       

       

        MarSurf WI系列是Mahr新研發(fā)光學(xué)3D表面輪廓儀產(chǎn)品，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器;根據(jù)配置和應(yīng)用的不同，分為WI 50 M，WI 50和WI 100三個型號；WI系列以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
       MarSurf WI光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
       應(yīng)用測試項目：對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

》技術(shù)規(guī)格

 

》行業(yè)應(yīng)用
應(yīng)用行業(yè)

應(yīng)用項目

 

應(yīng)用案例

光學(xué)元器件三維形貌及表面粗糙度

 

 

芯片表面平整度

 

微孔深度測量（多個孔深自動計算）