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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
等離子清洗機(jī)清洗原理是利用氣體在特定的交變電場(chǎng)激蕩下變成等離子體，等離子體在偏壓作用下被加速產(chǎn)生動(dòng)能，
移動(dòng)粒子轟擊待清洗器件的表面，使污染物脫離表面，同時(shí)和污染物反應(yīng)生成易揮發(fā)性的化合物，
使表面污染物變成附著力低的粒子和氣態(tài)物質(zhì)。
清潔過程可以通過與自由基氧、氫、氟或氯物質(zhì)的化學(xué)反應(yīng)或通過重離子(例如氬離子)的高能離子濺射來實(shí)現(xiàn)。
等離子清洗機(jī)是通過等離子放電過程產(chǎn)生化學(xué)活性自由基和高能離子的設(shè)備。等離子體可以通過射頻、微波或直流輝光放電產(chǎn)生
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