三溫區(qū)管式爐

產(chǎn)品應(yīng)用：

本設(shè)備主要用于半導(dǎo)體行業(yè)。設(shè)備加熱區(qū)域采用三段溫區(qū)獨(dú)立控制，工作溫度區(qū)間為500~800C，加熱元件為電阻絲加熱。爐管尺寸為4220*1300，采用N型熱電偶測(cè)溫。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

爐架為整個(gè)爐體和爐管等部分提供支撐。整體采用方管焊接而成，保證足夠的強(qiáng)度，長(zhǎng)時(shí)間不變形，整體高約1.4m，長(zhǎng)1.整個(gè)爐體安裝中有防震要求，嚴(yán)格控制退火過(guò)程的震動(dòng);

加熱單元:加熱元件采用電阻絲加熱;

保溫層為優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維材質(zhì)，采用日本進(jìn)口真空吸附成型技術(shù)固化成型;

整個(gè)爐體由多個(gè)加熱單元拼接而成，共分成3個(gè)控溫區(qū);

控溫?zé)犭娕冀z用頭部帶凹槽的陶瓷保護(hù)管，可保護(hù)熱電偶頭部.共3個(gè)加熱單元3根控溫?zé)犭娕?

控溫采用歐陸2604控溫模塊;

爐架上放置爐體，爐殼，石英管等設(shè)備。55m，寬0.75m，外觀簡(jiǎn)潔美觀;

爐殼為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，主體結(jié)構(gòu)采用方管焊接而成，保證整個(gè)爐體有足夠的強(qiáng)度，爐殼四周裝有封板，外觀簡(jiǎn)潔美觀;

整個(gè)爐體安裝中有防震要求，嚴(yán)格控制退火過(guò)程的震動(dòng)。

核心結(jié)構(gòu)與特性：

加熱與保溫：電阻絲三面加熱，氧化鋁多晶纖維爐膛，保溫性能佳，升溫快且能耗低，重量?jī)H為傳統(tǒng)爐的 1/5 左右。

控溫與智能：30 段程序控溫，PID 自整定，控溫精度 ±1℃；支持遠(yuǎn)程控制、數(shù)據(jù)記錄與報(bào)表輸出，適配無(wú)人值守。

安全與耐用：超溫報(bào)警并斷電、漏電保護(hù)、爐門(mén)與加熱互鎖、斷偶報(bào)警；彈簧門(mén)扣補(bǔ)償高溫收縮縫隙，密封可靠。

選型與使用要點(diǎn)：

選型：按樣品量選容積，按工藝選升溫速率，按氣氛需求選通氣口配置，按精度選控溫模塊。

使用：shou次需烘爐除潮；升溫速率不宜長(zhǎng)期滿負(fù)荷，避免損傷爐膛與元件；定期檢查電阻絲、熱電偶與保溫層狀態(tài)。

三溫區(qū)管式爐設(shè)備選型表：