半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水排放量大,廢水污染物種類多,成份復(fù)雜,通常都包括多種重金屬廢水和有機(jī)廢水,處理難度較大。


為了保證半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的處理效果,須按照污染物的不同將廢水分類收集,針對每一類廢水的主要污染物的特點,分別進(jìn)行處理,可達(dá)到理想的處理效果。同時,采用的廢水回用處理技術(shù),保證廢水回用處理系統(tǒng)的穩(wěn)定性和經(jīng)濟(jì)性。根據(jù)廢水的水質(zhì)特點,不同生產(chǎn)工序排出的廢水分別收集到不同的廢水貯槽(池)內(nèi)。并分別對各類廢水進(jìn)行預(yù)處理后再合并一起處理。
下圖是廢水的處理案例


















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