ET-R101FS型激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器（在線）

品牌：etiedt奕泰凈科

一、概述：

ET-R101FS型激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器,是蘇州奕泰環(huán)境科技有限公司在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的產(chǎn)品之一。檢測(cè)最小粒徑檔可達(dá)0.1μm,可檢測(cè)ISO7-ISO1的潔凈環(huán)境,采樣流量2.83L/min,專為半導(dǎo)體行業(yè)高精度潔凈環(huán)境檢測(cè)設(shè)計(jì),突破傳統(tǒng)精度局限，精準(zhǔn)捕捉光刻膠揮發(fā),設(shè)備磨損產(chǎn)生的亞微米污染顆粒,滿足納米制程對(duì)ISO1級(jí)潔凈度的嚴(yán)苛要求。儀器具有檢測(cè)精度高,人機(jī)界面友好,功能豐富,操作簡(jiǎn)單。

本產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、光學(xué)、新能源、精密機(jī)械，化學(xué)、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、航空航天，等部門(mén)。

二、特點(diǎn)：

◆304不銹鋼殼體（可定制航空鋁材）

◆5.0超大高清彩色觸控屏，操作簡(jiǎn)單

◆最小檢測(cè)粒徑0.1μm，八通道

◆約500萬(wàn)條數(shù)據(jù)存儲(chǔ)+USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出+云端互聯(lián)

◆支持SCADA/MES系統(tǒng)對(duì)接

◆ESD安全智能電源管理系統(tǒng)

◆ISO 14644-1潔凈度等級(jí)報(bào)告自動(dòng)生成

◆主動(dòng)流量控制PID自動(dòng)調(diào)節(jié)

◆防爆需求定制，防爆僅針對(duì)于外殼防爆，具體根據(jù)客戶需求進(jìn)行一對(duì)一定制。

三、性能：

◆采樣流量：2.83L/min ±5% （0.1 CFM）
◆粒徑分布誤差；國(guó)優(yōu)±20%FS
◆示值濃度誤差；國(guó)優(yōu)±20%FS
◆自凈時(shí)間；國(guó)優(yōu)≤8min
◆重復(fù)性相對(duì)誤差；國(guó)優(yōu)≤8%FS
◆采樣濃度，35000顆/升
◆至少5，000，000條采樣數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

四、應(yīng)用：

半導(dǎo)體潔凈廠房檢測(cè)；

晶圓封裝產(chǎn)品線監(jiān)測(cè)；

光刻產(chǎn)線監(jiān)測(cè)；

精密光學(xué)；

新能源；

航空航天；

五、技術(shù)參數(shù)：

六、etiedt奕泰凈科：

蘇州奕泰環(huán)境科技有限公司國(guó)產(chǎn)潔凈環(huán)境檢測(cè)儀器智能化創(chuàng)新應(yīng)用專業(yè)前沿企業(yè)；

進(jìn)口儀器國(guó)產(chǎn)化替代品牌新勢(shì)力；

國(guó)內(nèi)凈化品牌服務(wù)商，凈化優(yōu)質(zhì)服務(wù)商；

潔凈微環(huán)境智能監(jiān)測(cè)儀器全套解決方案專業(yè)企業(yè)

半導(dǎo)體潔凈環(huán)境檢測(cè)，奕泰凈科E系列激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)等級(jí)可滿足十級(jí)至三十萬(wàn)級(jí)環(huán)境檢測(cè)；

在線0.1μm塵埃粒子計(jì)數(shù)器在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)；

在線0.1μm塵埃粒子計(jì)數(shù)器遠(yuǎn)程環(huán)境在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)