一、簡(jiǎn)介

   GB/T10064導(dǎo)電塑料四探針方塊電阻率測(cè)試儀是運(yùn)用四探針原理測(cè)量方塊電阻的專用儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時(shí)顯示。儀器 測(cè)試范圍0-10MΩ，小分辨率0.1uΩ，電阻小精度0.01%，精度2%?？捎糜跍y(cè)試半導(dǎo)體、?屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率。
   GB/T10064導(dǎo)電塑料四探針方塊電阻率測(cè)試儀配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成圖表和報(bào)表。

四端測(cè)試法是目前較之測(cè)試方法，主要針對(duì)高精度要求之產(chǎn)品測(cè)試；本儀器用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

自動(dòng)雙極板材料四探針低阻測(cè)試儀采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動(dòng)換算，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國(guó)內(nèi)及國(guó)外客戶需求。

二、特點(diǎn)

●測(cè)試探頭直排和矩形可選；

●標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接?；

●可配戴軟件查看和記錄測(cè)試數(shù)據(jù)；
●電阻?精度：0.01%，小分辨率0.1uΩ；

●方電阻精度：1%，小分辨率：0.1uΩ；

●雙電測(cè)原理，提?精度和穩(wěn)定性；

三、適用范圍

● 四探針治具測(cè)試片狀或塊狀半導(dǎo)體材料、金屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的電阻和電阻率

● 開爾文測(cè)試夾直接測(cè)試電阻器直流電阻；

四、參數(shù)

1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

2. 基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。

3. 精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％；

方阻基本準(zhǔn)確度：1%；

電阻率基本準(zhǔn)確度：1%

4. 整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差：≤±1%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±1%

5. 正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差

6. 恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無影響時(shí)，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。

7. 可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。

8. 厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無查表即可計(jì)算出電阻率。

9. 自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。

10. 雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.

11. 具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來的測(cè)試結(jié)果偏差。

12. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

13. 測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。

14. 軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。

GB/T 10064-2006測(cè)量固體絕緣材料絕緣電阻的試驗(yàn)方法

前言

本標(biāo)準(zhǔn)等同采用IEC 60167:1964(測(cè)定固體絕緣材料絕緣電阻的試驗(yàn)方法》(英文版)。為便于使用,本標(biāo)準(zhǔn)作了下列編輯性修改:

a)刪除國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的目次、前言和序言

b)刪除國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的小標(biāo)題一節(jié)至第八節(jié);

c)用小數(shù)點(diǎn)“。’代替作為小數(shù)點(diǎn)的逗號(hào)"，’:

d刪除國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)第12章的注;

e)增加第2章規(guī)范性引用文件,刪除第19章參考文獻(xiàn);

D圖按GB/T1.1-2000標(biāo)注,

考慮到我國(guó)國(guó)情,將IEC 60167;1964第9章中“錫箔"改用“鋁箔"。本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T 10064-1988(固體絕緣材料絕緣電阻的試驗(yàn)方法》。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A為資料性附錄

測(cè)定固體絕緣材料絕緣電阻的試驗(yàn)方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了測(cè)定絕緣電阻的方法,但不再區(qū)分體積電阻和表面電阻。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于試樣精度要求不高,只要求一般定性的快速測(cè)定電阻值的場(chǎng)合。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

GR/T1410-2006國(guó)體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法(IEC60093;1980.IDT)

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

絕緣電把iasulation resistance

與試樣接觸或嵌入試樣的兩個(gè)電極之間的絕緣電阻,是加在電極上的直流電壓與施加電壓一定時(shí)間后電極間總電流之比。它取決于試樣的體積電阻和表面電阻，

4意

4.1按本方法所測(cè)出的電阻值包括了體積電租和表面電阻,但未將這兩部分區(qū)分開。本方法與體積電阻率和表面電阻率推薦試驗(yàn)方法相比(見GB/T 1410-2006),不能給出所測(cè)材料十分確定的數(shù)值，但是所測(cè)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可以用來比較不同絕緣材料的性能。

4.2本方法非常適用于確定濕度對(duì)吸型的絕緣材料的影響,在這些絕緣材料中,條件處理不僅會(huì)望著改變材料的表面絕緣性能,而且也會(huì)顯著改變材料內(nèi)部的絕緣性能。

5試驗(yàn)設(shè)備

5.1 絕緣電阻可以用電橋法或者用測(cè)量電流和電壓的方法來確定。這些方法詳見GB/T 1410-2006.5.2測(cè)量時(shí)施加足夠穩(wěn)定的直流電壓,使電壓變化時(shí)所出現(xiàn)的充電電流與貫穿試樣的電流相比可忽略不計(jì)，如需要,可使用若干電池。

6 電極

材料在試驗(yàn)條件下應(yīng)不會(huì)被腐蝕,且不會(huì)與被測(cè)材料起反應(yīng)，可以使用下列幾種電視:當(dāng)測(cè)量側(cè)重于體積電配時(shí),通常使用圓錐形插銷電極:當(dāng)測(cè)量側(cè)重于表面電阻時(shí),使用其他幾種電極。

7固錐形插銷電極(對(duì)平板、管狀和棒狀試樣)

采用直徑約5mm并帶有約2%錐度的干凈黃銅或不銹鋼作為國(guó)錐形插銷電極,其長(zhǎng)度應(yīng)符合第10章的要求。這些電極適用于平板,管狀和棒狀試樣(見圖1、圖2),將電極插人試樣上兩個(gè)中心距離

為25mm±1mm的橫向并列的孔中(見第10章)。

8導(dǎo)電涂料電極(對(duì)平板,營(yíng)狀和律狀試樣)

導(dǎo)電除料可用作電極材料，可電涂料的溶劑應(yīng)對(duì)被測(cè)材料沒有任何影響,兩條1mm寬的導(dǎo)電涂

料條沿著管或棒的圓周面等距離地涂上,使相鄰兩邊的間隔為10mm±0.5mm,這種電極也可以用于板狀試樣,此時(shí)電極是兩條平行的1mm寬的導(dǎo)電涂料，每個(gè)電極的總長(zhǎng)度是100mm±1mm,它們的間距為10 mm±0.5mm(見圖3.圖4)。

9條形電極(對(duì)薄片試樣及帶狀試樣)

電極是尺寸約為10 mmx10 mmX50 mm的金屬條形夾子,兩電極間的距離為25mm±0.5 mm(見圖5)。這種電極適用于薄片材料(通常為1mm厚或更薄)和柔軟帶狀材料。條形電極可用絕緣件安裝在全屬支架上,金屬支架在測(cè)量電阻時(shí)可用作保護(hù)電極(見圖5e))。

另一種方法,電極可用試樣來支撐,或用兩個(gè)絕緣件將試祥兩端支撐起來(見圖5b))。對(duì)剛性材料，條形電極應(yīng)用鋁箱卷繞,卷糖鋁箭的電極與試樣夾緊后,應(yīng)該用一組小的工具沿電極邊緣壓平鋁箔，

以保證電極與試樣緊密接觸。

10用圓錐形描銷電極的試樣

用圓錐形插銷電極進(jìn)行測(cè)量時(shí),矩形平板試樣尺寸至少為50 mmX75mm(見圖1).管或棒試樣直徑至少為20mm,長(zhǎng)度至少為75mm(見圖2)。為了插人這種電板.在平板,管或棒試梯上鉆兩個(gè)平行于橫向并列垂直于板面的小孔,其中心間距為25 mm±1mm,將孔用絞刀纏成與插銷電板一樣的鐮度以后,每個(gè)孔大端的直徑應(yīng)在4.5mm至5.5 mm之間。兩個(gè)孔應(yīng)該鉆穿試樣,如果懸管狀試樣則只粘通一管壁。

在鉆或投試樣時(shí),應(yīng)注意保證小孔附近的材料不受任何損壞(例如開裂,擔(dān)傷或炭化)?？字行碾x開試樣邊緣至少25mm，將電極壓人(而不是錘人)孔中,以使電極與試樣緊密配合,并使電極伸到試樣

外不小于2mm(見圖1和圖2)。

11用導(dǎo)電涂料電極的試樣

用導(dǎo)電涂料電極進(jìn)行測(cè)量時(shí),矩形平板試樣尺寸至少是60 mmX150 mm(圖3)。棒或管試樣長(zhǎng)度至少為60mm(見圖4)。

12用條形電極的試樣

用條形電極進(jìn)行測(cè)量時(shí),帶狀或窄條試樣的寬度應(yīng)為25.5mm或更窄一些，長(zhǎng)度至少為50mm(見圖5)。

13試樣處理

試樣的預(yù)處理,條件處理,試驗(yàn)的條件取決于被試材料的性質(zhì).應(yīng)在材料規(guī)范中規(guī)定，

14試驗(yàn)程序

14.1每次試驗(yàn)所用試樣的數(shù)量應(yīng)在材料規(guī)范中規(guī)定。在進(jìn)行電阻測(cè)量之前,試樣應(yīng)適當(dāng)?shù)毓P選(見第17章),清潔(見第18章),安裝(見第19章)和處理(見第13章)。應(yīng)保持在處理的大氣條件下對(duì)每個(gè)試樣分別進(jìn)行電阻測(cè)定。

當(dāng)試驗(yàn)過程中在試樣周圍不可能保持所要求的大氣條件,則應(yīng)迅速地將試樣從處理的大氣中移出并在幾分鐘內(nèi)進(jìn)行試驗(yàn),試樣移出和側(cè)量之間所允許的時(shí)間應(yīng)在材料規(guī)范中規(guī)定,規(guī)范中也應(yīng)規(guī)定是在

處理前還是處理后安裝電極，

14.2 試樣和電極應(yīng)按照第6拿至第12章進(jìn)行選擇，應(yīng)用滿足其靈敏度和精確度要求的儀器進(jìn)行電阻測(cè)量(見第5章),除非另有規(guī)定,施加電壓應(yīng)為500V±10V,電化時(shí)間應(yīng)為1min。

15結(jié)果表達(dá)與計(jì)算公式

用導(dǎo)電涂料電極測(cè)量管和棒試樣時(shí),被測(cè)電阻R;應(yīng)用下式換算成電極長(zhǎng)度為100mm時(shí)的電阻:

R

式中:

R-對(duì)應(yīng)于長(zhǎng)度為100mm的試樣電阻,單位為歐姆(Ω):

d一-管或棒的直徑,單位為毫米(mm)。

用條形電極測(cè)量寬度不是25 mm 的試樣時(shí),被測(cè)電阻Rx應(yīng)用下式換算成寬度為25mm時(shí)的

電阻:

R=.R

式中

R對(duì)應(yīng)于寬度為25mm的電阻,單位為歐姆(Ω);

b-寬度，單位為毫米(mm)。

16試驗(yàn)報(bào)告

試驗(yàn)報(bào)告至少應(yīng)包括下列項(xiàng)目:

絕緣材料的名稱;

一一試樣尺寸:

一一試驗(yàn)方法和電極類型,包括導(dǎo)電涂料的性質(zhì):

電極是在處理前還是處理后安裝;

-清潔方法;

一一預(yù)處理(必要時(shí))和條件處理:

測(cè)量過程中的條件;

一-試驗(yàn)電壓:

--電化時(shí)間:

--測(cè)量得到的各個(gè)絕緣電阻數(shù)值。

注;用各個(gè)絕緣電阻數(shù)值的算術(shù)平均值作為試驗(yàn)結(jié)果不太理想,因?yàn)楦邤?shù)值對(duì)結(jié)果影響太大。反之,取各個(gè)試樣的電導(dǎo)率的算術(shù)平均值作為試驗(yàn)結(jié)果,則低數(shù)值又有很大的影響。因而好使用各個(gè)數(shù)值的對(duì)數(shù)的算術(shù)平均值，即幾何平均值,以避免個(gè)別數(shù)值帶來的影響太大。

17試樣選擇

絕緣電阻的測(cè)量值很大程度上取決于試樣的表面狀況,應(yīng)注意選擇表面沒有損傷的試樣，

18試樣清潔

在許多情況下要求在使用條件下進(jìn)行試驗(yàn)。此時(shí)，試樣不應(yīng)清潔處理。如果希望擦凈,應(yīng)在條件處理以前將試樣表面用乙醉和**混合液或其他合適的溶劑擦凈,并不與棵手指接觸(建議帶醋酸纖維手套).

19試樣安裝

在安裝被測(cè)試樣時(shí),除了與試樣相連的電極外,電極之間不應(yīng)有導(dǎo)電通路。當(dāng)安裝支架要求保護(hù)電極時(shí)，應(yīng)按照GB/T1410-2006中規(guī)定的方法進(jìn)行。

四探針電阻率測(cè)試儀在半導(dǎo)體、新能源、微電子等領(lǐng)域都是測(cè)量電阻率的“黃金標(biāo)準(zhǔn)”，我來幫你梳理一下它的主要應(yīng)用場(chǎng)景：

一、半導(dǎo)體材料研究

二、薄膜材料分析

三、納米材料與石墨烯表征

四、導(dǎo)電材料檢測(cè)

五、工業(yè)與科研應(yīng)用

六、功率半導(dǎo)體與集成電路

七、光伏行業(yè)

八、功能材料研究

九、非晶合金與形狀記憶合金

十、半導(dǎo)體制造

總之，四探針電阻率測(cè)試儀憑借非破壞性、高精度和寬量程的特點(diǎn)，在半導(dǎo)體、新能源、微電子等領(lǐng)域都是普遍的工具。