產(chǎn)品用途：Product Applications
●FF型復(fù)合分子泵用來獲得高真空和超高真空，其廣泛應(yīng)用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、等離子體物理空間研究、表面物理和分析儀器、半導(dǎo)體和光學(xué)元器件制造、平板顯示、太陽能電池、真空鍍膜、真空冶煉等涉及真空技術(shù)的電子、冶金、化工、科研等眾多領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)：Product Features
●高壓強(qiáng)段保持較大、穩(wěn)定的抽速；
●前級(jí)耐壓能力強(qiáng)；
●抗沖擊能力強(qiáng)；
●易獲得清潔的高真空或超高真空；
●設(shè)計(jì)獨(dú)特的轉(zhuǎn)子，安全性高；
●特殊的冷卻系統(tǒng)，散熱性好；
●振動(dòng)小、噪音低；
●結(jié)構(gòu)緊湊，安裝、維護(hù)方便。
Model FF Compound Molecular Pump
技術(shù)參數(shù)Technical specifications：
| 型號(hào) Model | FF-250/1600 | FF-160/620 | |
| ******工作壓力Minimum operational pressure（Pa） | <1×10-6 | <6×10-7 | |
| 抽氣速率（對(duì)空氣）Pumping speed for air（L/s） | 1700 | 600 | |
| 壓縮比Compression ratio | 對(duì)氮?dú)?For N2 | ＞108 | ＞109 |
| 對(duì)氫氣 For H2 | ＞5×103 | ＞6×103 | |
| 進(jìn)氣口法蘭Inlet flange | LF250（DN250 IS0-K） | DN160CF | |
| 排氣口法蘭Outlet flange | KF50（DN50 IS0-KF） | KF40 | |
| 啟動(dòng)時(shí)間Starting time（min） | ≤8 | ≤5 | |
| 額定轉(zhuǎn)速Rated rotational speed （r/min） | 27000 | 27000 | |
| 振動(dòng)值Libration value（μm） | ≤0.1 | ≤0.1 | |
| 注油量Oiling capacity （ml） | 210 | 210 | |
| 推薦前級(jí)泵Recommended forevacuum pump | 2XZ-15D（15L/s） | 2XZ-4B/2XZ-8D（4-8L/s） | |
| 軸承Bearing | 精密陶瓷球軸承 Precision ceramic balls bearing | 精密陶瓷球軸承 Precision ceramic balls bearing | |
| 安裝方式Operational orientation | 豎直Vertical（±5°） | 豎直Vertical（±5°） | |
| 冷卻方式Cooling method | 水冷 Water cooling | 水冷 Water cooling | |
| 冷卻水溫度Cooling water temperature（℃） | ≤25 | ≤25 | |
| 冷卻水壓力Cooling water pressure（MPa） | 0.196 | 0.196 | |
| 泵體烘烤溫度Pump body baking temperature（℃） | ≤100 | ≤100 | |
| 環(huán)境溫度Environment temperature（℃） | 5～40 | 5～40 | |
| 重量Weight（Kg） | 47 | 30 | |
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