產(chǎn)品概述 采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS(Microelectromechanicalsystems)氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、壞保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制

產(chǎn)品概述

采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS ( Microelectromechanical systems )氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、壞保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。

該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,量程比寬，響應(yīng)時間較快, 測量精度高,無需溫度、壓力補(bǔ)償。

技術(shù)參數(shù)

（1）測量介質(zhì)：各種氣體(乙烘氣和混合氣體除外)；

（2）流量范圍：

         DN3 (100-1000) ml/min；

         DN4 (250-2500 ) ml/min；

         DN6 (1000-10000) ml/min；

         DN8 (1500-15000) ml/min；

         DN10 ( 2500-25000 ) ml/min；

注:

    (a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；

    (b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20°C , 101.325kPao；

（3）流量測量準(zhǔn)確度:±1.5%FS；

（4）工作溫度范圍：0~55°C；

（5）工作壓力范圍：0.3MPa , 0.6MPa ,1.0MPa；

（6）供電電源:24VDC±10% ；

（7）輸出信號:(4~20)mA , RS485通訊；

（8）環(huán)境溫度：0-55°C ；

（9）顯示位數(shù):瞬時流量為三位,累積流量10位。

產(chǎn)品特點(diǎn)

（1）產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實(shí)現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門；

（2）μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù),使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升；

（3）微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實(shí)現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化；

（4）單個芯片的流量特性的微處理技術(shù),使流量計的量程范圍大大提高；

（5）機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計,智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù),使流量計具有更好的重復(fù)性,實(shí)現(xiàn)了計量的準(zhǔn)確、可靠；

（6）結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，AKLT-WX-Q流量計的壓力損失達(dá)到最小化；

（7）采用國際的MF傳感技術(shù)，使流量計工作更穩(wěn)定、可靠；

（8）零點(diǎn)自校功能，測量更準(zhǔn)確；

（9）多種氣體實(shí)際標(biāo)定，全量程補(bǔ)償；

（10）快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲,配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理；

（11）規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定；

（12）精度等級高,滿足用戶高精度測量要求；

（13）的流量計報警功能,使監(jiān)控更可靠；

（14）操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)；

（15）運(yùn)用行業(yè)多，是科硏院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的。

工作原理

感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作，保證傳感器的高度一致,解決了："現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性,導(dǎo)致傳感器在各個法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異,所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準(zhǔn)和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題,實(shí)際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴，大規(guī)模應(yīng)用比較難"的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計，同時可靠性穩(wěn)定，安全性更好。

在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的工藝制作的鏤空橋面上。采用這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo),使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高。當(dāng)傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70°C),在芯片周圍形成固定的溫度場分布。

 

產(chǎn)品詳情： 0415 — 4153787