產(chǎn)品簡介
| Instec加熱平板允許同時進行樣品的溫控和反射光觀察。相比冷熱臺減少了下透光孔，視型號不同有或沒有上蓋。 本品適用于反射式顯微鏡、顯示面板測試、半導(dǎo)體檢測、原子力顯微鏡等應(yīng)用。 | Instec溫控晶圓夾盤專用于樣品電測試。相比加熱平板則多了用于固定樣品的真空吸附槽。 本品適用于樣品電測試，整體高度很小，可集成進探針臺使用。 |
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冷熱平板TP104SC，樣品區(qū)100x100mm半導(dǎo)體控溫，增加氣密上蓋 |
一個典型的圓形溫控晶圓夾盤 |
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移動站：加熱平板與晶圓夾盤系列
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