產(chǎn)品描述:
該系統(tǒng)采用FJ-620/FJ-500F型系列復(fù)合分子泵機(jī)組,是由F160/620系列各性能復(fù)合分子泵或FF-160/500F系列復(fù)合分子泵,前級(jí)抽氣泵,隔斷放氣閥,前級(jí)管路,斷水保護(hù)器,分子泵電源、高真空檢測(cè)系統(tǒng)(復(fù)合真空計(jì)),控制電源等組裝于機(jī)架上而成的清潔真空獲得設(shè)備。安裝方便,操作簡(jiǎn)單,易于聯(lián)接,性能可靠,可廣泛用于表面分析,加速器技術(shù),半導(dǎo)體設(shè)備,等離子體技術(shù),電真空器件的制造及真空技術(shù)各領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù):
1.環(huán)境溫度:5~32℃
2.空氣相對(duì)濕度≦80%
3.工作電壓:220V±10% 50~60HZ
4.功率:1KW
5.系統(tǒng)極限真空度:1.0X10-4Pa
6.TRP-24前級(jí)泵:抽氣速率:6L/S
7.FJ-620分子泵:抽氣速率(對(duì)空氣):600L/S
8.進(jìn)氣口法蘭:DN160LF排氣口法蘭:KF40
9.建議啟動(dòng)壓強(qiáng):<100 Pa
10.極限壓強(qiáng):6×10-6Pa
11.ZDF-III復(fù)合真空計(jì):規(guī)管型號(hào):ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)
測(cè)量范圍:400~1×10 -1 Pa
測(cè)量路數(shù):2路
反應(yīng)時(shí)間:〈3S
控制范圍:100~1×10 -1 Pa
控制路數(shù):4路可擴(kuò)展至8路
控制方式:繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負(fù)載
電源: 220V ± 10% 50Hz
功耗: 25W
12.波紋管:KF40X1000
13.真空電磁擋板閥:KF40


















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