一、概述

1、氣體從鋼瓶出來，經過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經過浮子流量計控制氣體流量，然后經過混氣罐,再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經過三通閥門，一端連接 真空泵，一端連接出氣口。

2、 混氣罐上接有壓力表，壓力表顯示盤與浮子流量計安裝在同一面板上。

3、每一條氣體管路均有一個高壓截止閥。

4、該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內部全采用四氟管，耐腐蝕性好。

5、 所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。

二、技術參數(shù)：

氣路通道： 2  、3  、4、5  、6 、7（可根據需要確定）

氣路流量控制：采用浮子流量計或采用質子流量控制器。

質量流量計技術參數(shù)：

接 口： Φ6

顯 示： 刻度

工作環(huán)境溫度: 5~45℃

流量控制器：浮子流量計或質子流量控制器( 量程可根據需要確定)

50-500 ml/ min   2ml/ 格

10-100ml/min    2ml/ 格

四 氟 管：Φ6 外 X Φ4 內

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/ 格

截 止 閥：Φ6

三、質量流量計技術參數(shù)：

產品名稱: 質子流量控制器

產品類型: 氣體質量流量計 /D07 系列質量流量計

產品描述 :普通型，模擬電路

產品詳細描述:普通型，模擬電路，橡膠密封，

管狀分流，不易堵塞。

主要指標:

· 量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM

（可以任意選擇量程）

· 準確度：±1.5% F.S         · 線性：±0.5～1.5% F.S    · 重復精度：±0.2% F.S      

· 響應時間：10S              · 氣壓降：<0.01MPa         · 更大壓力：3MP

· 工作環(huán)境溫度：5～45℃      · 輸入輸出信號：0～+5.00V  · 電源：+15V 50mA -15V 50mA

· 外形尺寸：158*30*110       · 重量：0.9 Kg