潔凈室的核心重點

潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或凈化室。它是污染控制的基礎(chǔ)，沒有潔凈室， 污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2 里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

潔凈室要獲得良好的潔凈效果，不僅要著重采取合理的空調(diào)凈化措施，而且也要求工藝、建筑及其他專業(yè)采取相應(yīng)的措施:不但要有合理的設(shè)計，而且還要精心的符合規(guī)范的施工安裝，以及正確的使用潔凈室和科學(xué)的維護(hù)管理。為使?jié)崈羰耀@得良好的效果，國內(nèi)外已有不少文獻(xiàn)從不同的角度作過闡述。實際上，不同專業(yè)之間很難做到理想地配合，而且設(shè)計者很難把握施工安裝質(zhì)量以及使用和管理情況，尤其后者。本文僅就潔凈室凈化措施中達(dá)到潔凈度要求的四個必要條件簡要論述。

凈化系統(tǒng)末級過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過濾器。按我國標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定高效過濾器效率分四檔：A 類為≥99.9%，B 類為≥99.9%，C 類為≥99.999%，D 類為(對≥0.1μ m 粒子)≥99.999%(亦稱超高效過濾器)：亞高效過濾器為(對≥0.5μm 粒子)95~99.9%。效率越高，過濾器的價格也越貴。所以選擇過濾器時應(yīng)本著既要滿足送風(fēng)潔凈度要求，又要考慮經(jīng)濟(jì)合理。從潔凈度要求考慮，以低級別潔凈室選用低性能過濾器、高級別潔凈室選用高性能過濾器為原則。一般說來：100萬級可選用高中效過濾器；低于 1 萬級可選用亞高效或A類高效過濾器：1 萬~100 級選用B類過濾器；100~1 級選用C類過濾器。這里每個潔凈度級別似乎都有兩類過濾器可供選擇，選擇高性能的還是低性能的，要視具體情況而定。

潔凈室的氣流組織與一般空調(diào)房間有所不同，它要求將最干凈的空氣首先送到操作部位，它的作用在于限制和減少對加工物的污染。為此，在設(shè)計氣流組織時應(yīng)考慮這些原則：盡量減少渦流，避免將工作區(qū)以外的污染帶入工作區(qū);盡量防止灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的污染機(jī)會;工作區(qū)的氣流要盡量均勻，且其風(fēng)速要滿足工藝和衛(wèi)生要求，當(dāng)氣流向回風(fēng)口流動時要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據(jù)不同的潔凈度要求，選擇不同的送、回風(fēng)方式。

足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣，根據(jù)不同的潔凈度要求，當(dāng)潔凈室凈高較高時，適當(dāng)增加換氣次數(shù)。其中；100萬級潔凈室的通風(fēng)量是按高中效凈化系統(tǒng)考慮，其余均按高效凈化系統(tǒng)考慮；當(dāng) 10萬級潔凈室高效過濾器集中布置在機(jī)房或系統(tǒng)末端采用亞高效過濾器時，可適當(dāng)提高換氣次數(shù) 10-20%。

四、靜壓差

潔凈室維持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染、以維持設(shè)計潔凈度等級地條件之一。即便是負(fù)壓潔凈室，它也必須有不低于它潔凈度級別地相鄰房間或套間維持一定地正壓，負(fù)壓潔凈室的潔凈度才能得以維持。

對于一個潔凈室來說，以上四個必要條件必須同時得到滿足，才能保證潔凈度達(dá)到要求并具備應(yīng)有的抗污染干擾能力。

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