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產(chǎn)品簡介
1、精密減壓閥體積小,重量輕;
2、比傳統(tǒng)的精密減壓閥IR200流量大20%(大1100L/min);
3、比傳統(tǒng)的精密減壓閥IR200排氣量大5倍;
4、壓力設定準確(調(diào)節(jié)螺栓的齒間距由傳統(tǒng)的0.75mm改0.5mm);
5、精密減壓閥安裝方便。可用托架獨立安裝或現(xiàn)在的模塊式過濾組合AFM直接安裝;
6、標準也帶面板式安裝;
7、先導排氣口與主道排氣口分開;
8、精密減壓閥可在潔凈房使用。
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