特性一覽

• 對(duì)于 N2 和空氣，覆蓋高達(dá) 5,000 slm 的量程
• 可與 molbox1+ 或現(xiàn)有的 molbox1 和 molbox RFM 質(zhì)量流量終端以及 COMPASS 軟件結(jié)合使用
• 重量校準(zhǔn)支持可靠的流量文氏管（音速）噴嘴操作原則
• 污染物敏感度極低
• 測(cè)量不確定度：
  對(duì)于 molbox1+，可達(dá)到 ±0.125% 讀數(shù)
  對(duì)于 molbox1，可達(dá)到 ±0.2% 讀數(shù)
  對(duì)于 molbox RFM，可達(dá)到 ±0.5% 讀數(shù)
• 可以使用空氣、N2、Ar、He 和其他校準(zhǔn)氣體，可以對(duì)環(huán)境氣體進(jìn)行潮濕氣體密度補(bǔ)償
• 利用 molbox1+S 或其他 molbox 型號(hào)加上真空，可實(shí)現(xiàn)量程可調(diào)性（10:1 調(diào)節(jié)）。
• 冗余的上游絕壓測(cè)量使用 molbox 絕壓傳感器來降低不確定度并提高可靠性
• 完整的氣體溫度調(diào)節(jié)和測(cè)量
• 連續(xù)、實(shí)時(shí)的讀數(shù)，就像傳統(tǒng)的 molbloc-L 層流元件一樣
• 可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)

molbloc-S 量程

通過 molbloc-S 的質(zhì)量流速可直接與上游絕壓以及獨(dú)立的下游壓力或壓力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的壓力到流量轉(zhuǎn)化率 K_F 定義。K_F 的單位為 sccm/kPa，它定義了質(zhì)量流量與傳送到 molbloc-S 的上游絕壓之間的關(guān)系。molbloc-S 校準(zhǔn)工作是針對(duì)與 20 到 200 kPa（3 到 30 psia）、50 到 500 kPa（7 到 70 psia）或 200 kPa 到 2 MPa（30 到 300 psia）的上游壓力相對(duì)應(yīng)的量程執(zhí)行的。

為了使流量測(cè)量有效，molbloc-S 文丘管噴嘴處的流量很重要，例如，氣體速度等同于本地音速。當(dāng)背壓率足夠低時(shí)可以達(dá)到關(guān)鍵流量，或保持 BPR 不變（molbloc-S 下游絕壓除以上游絕壓）。關(guān)鍵流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之間，具體取決于流量的雷諾數(shù)。

由于通過 molbloc-S 的質(zhì)量流量與上游絕壓成比例，molbloc-S 的流量量程在應(yīng)用中的限值受 BPR 限值的影響。要使 molbloc-S 元件的量程，必須在下游連接一個(gè)真空泵，減少流動(dòng)時(shí)的下游壓力。當(dāng)下游壓力足夠低時(shí)，就可以將上游壓力以及質(zhì)量流速調(diào)節(jié)到針對(duì) molbloc 校準(zhǔn)類型的最小值，而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大氣壓作為下游（無真空泵），則molbloc 所使用的上游壓力必須介于其校準(zhǔn)類型的壓力到當(dāng) BPR 等于當(dāng)前雷諾數(shù)下的 BPR 限值時(shí)的最小壓力之間。molbox1 終端包括了一些功能，可測(cè)量 BPR，在 BPR 值過高時(shí)自動(dòng)提示操作人員，避免在流量非關(guān)鍵時(shí)進(jìn)行測(cè)量。