型號(hào):Qstar E
尺寸:322/432/542
精度 (μm):Exy:2.5+L/200 起
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、儀器搭載六環(huán)八區(qū)環(huán)形光,更精準(zhǔn)地抓取尺寸并達(dá)到高重復(fù)精度的
2、上光源精準(zhǔn)測(cè)量功能;3、高精度花崗巖底座,工作平臺(tái),立柱,保證機(jī)器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性;
4、研磨級(jí)絲桿傳動(dòng),定位準(zhǔn)確,運(yùn)動(dòng)精度高;
5、高分辨率 300 萬(wàn)高清彩色相機(jī);
6、配置 METUS 測(cè)量軟件;
7、三軸全伺服閉環(huán)控制系統(tǒng);
8、可選配激光位移傳感器;
9、自動(dòng)變倍鏡頭。
















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