產(chǎn)品簡介
特點：
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
特點：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動測量
4. 內(nèi)建偏光測量光學(xué)模塊
5. 高速/無接觸測量
6. 同軸光/底光測量
7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
技術(shù)規(guī)格參數(shù)： 型號 MTM-3020MA 工作臺 金屬臺尺寸(mm) 500 x 330 玻璃臺尺寸(mm) 350 x 250 X、Y軸運動行程(mm) 300 x 200 手動Z軸行程(mm) 120 自動Z軸行程(mm) 2 外形尺寸(mm) 825 x 660 x 910 儀器重量(kg) 130 X、Y、Z軸分辨力(μm) 0.5 自動Z軸分辨力(μm) 0.1 示值誤差(μm) E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度，單位mm) 物鏡放大倍數(shù)誤差 包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08% 落射照明光源 可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/p> 底光照明光源 可調(diào)高亮度LED燈源 目視系統(tǒng) 影像系統(tǒng) 物鏡放大倍數(shù) 5X、10X、20X、50X 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 目鏡放大倍數(shù) 10X雙鏡筒 1/2”CCD攝像機(jī) 視頻總倍率 50X ~500X 142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900) 單層透明膜厚度測量模組 高精度測量模式 快速測量模式 厚度測量范圍 100nm ~300nm 300nm ~500nm 500nm ~3μm 3μm ~20μm 分辨力 5nm 5nm 7.5nm 0.1μm
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移動站：MTM-3020MA金相顯微鏡
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