全氟辛基三氯硅烷涂膠機，抗粘劑PFTS真空烘箱的應(yīng)用領(lǐng)域：
在納米壓印工藝中，要求作為壓印膠的聚合物和基底材料之間能有較強的附著能力，這樣才能保證在退模過程中不會與基底脫離而導(dǎo)致結(jié)構(gòu)被破壞;同時聚合物和模板之間應(yīng)有盡可能低的界面能，以防止在退模過程中因聚合物與模板之間發(fā)生粘連影響壓印質(zhì)量用然可以通過選擇合適的材料滿足這樣的要求。因此更多的是采用在模板上修飾抗粘層的辦法。目前主要有以下方法在模板上制備抗粘層。
硅烷涂膠機主要用于納米壓印光刻（NIL）應(yīng)用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠；以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
全氟辛基三氯硅烷涂膠機，抗粘劑PFTS真空烘箱的技術(shù)性能：
容量：1-12寸均可，300*300*300,450*450*450，600*600*600（mm）
硅烷添加劑：1-2種
內(nèi)箱體材質(zhì)：316L不銹鋼
氣體輸入：1個（氮氣）
工作溫度范圍：80-200/300°C
腔室壓力控制：1tor~100tor
硅烷添加量：2 – 100mL
工藝選擇：可同時設(shè)定5個工藝
正常運行時間：> 95％
涂膠原理：氣相沉積法
真空泵：干泵
電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ ， 3.5KW
控制方式：人機交互+PLC智能操作
操作方式：一鍵運行/手動操作
上海雋思實驗儀器有限公司具有自主開發(fā)、設(shè)計能力。服務(wù)于電子、電力、通訊、航空航天等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)秀的品質(zhì)”為宗旨，為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更*！
公司坐落于中國上海，奉賢區(qū)柘林鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)。公司擁有多臺的專業(yè)生產(chǎn)設(shè)備，公司是一個專注多年熱處理設(shè)備、儀器設(shè)備的生產(chǎn)廠家，擁有高的技術(shù)人才，高素質(zhì)的工作團隊，豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗。主要業(yè)務(wù)項目有：半導(dǎo)體濕法設(shè)備， 硅片刻蝕機，清洗設(shè)備，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烤箱，無塵烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，真空烤箱，真空無氧固化烤箱，干燥烘箱，黑蒜設(shè)備，環(huán)境可靠性設(shè)備，電線電纜檢測儀器等設(shè)備，同時可根據(jù)客戶要求設(shè)計非標類的產(chǎn)品。
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