技術(shù)參數(shù)
測量范圍：200mm ×100mm
分辨率：0.0001mm
準(zhǔn)確度：(1+L/100)μm（其中L為被測長度，單位為mm）
工作臺
方工作臺尺寸：260mm×270mm
方工作臺承放工件高度：140mm
工作臺承重：40kg
主顯微鏡立柱
傾斜范圍：±12°
傾斜角度分度值：30′
物鏡
| 物鏡放大率 | 工作距離（mm） | 圖像放大倍率 |
| 1× | 82mm | 40× |
| 3× | 70mm | 120× |
| 5× | 49mm | 200× |
| 屏幕圖像范圍（mm） | 屏幕圖像范圍（mm） |
| 1/2″≈5.2×4.1 | 1/3″=4.1×3.1 |
| 1/2″≈1.7×1.4 | 1/3″=1.4×1.0 |
| 1/2″≈1.0×0.8 | 1/3″=0.8×0.6 |
頂針架
夾持直徑：φ100 mm
夾持長度：700mm
高頂針架
夾持直徑：φ250 mm
夾持長度： 200mm
數(shù)顯分度頭
角度測量范圍：0°～360°
角度測量分辨率：5″
角度測量準(zhǔn)確度：30″
CCD 攝像頭
1/3″黑白(或彩色)CCD，像素數(shù)：795×596
光學(xué)定位器
最小探測孔徑: φ5mm
探測深度：15mm
測量力：0.1N
定位穩(wěn)定性: 0.001mm
測頭直徑的檢定極限誤差：0.0005mm
環(huán)境要求 : 室溫20±1℃，相對濕度40％－60％RH
儀器外形尺寸(mm) : 長1300×寬1250×高800
儀器質(zhì)量： 450kg
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