高效、的成像

具有成像能力的 人體工學(xué)設(shè)計顯微鏡

MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)支持檢測尺寸達(dá)300毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電 路板以及其他樣品的質(zhì)量。這些符合人體工學(xué)設(shè)計的人性化系統(tǒng)采用模塊化設(shè) 計，可在各種應(yīng)用中實現(xiàn)觀察條件。結(jié)合奧林巴斯Stream圖像分析軟件使用 時，從觀察到生成報告的整個檢測流程更簡潔直觀。

帶有此標(biāo)記的功能需要使用奧林巴斯Stream軟件

滿足電子行業(yè)需求

功能

的分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測。全 新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測 結(jié)果提供更多選擇。

從不可見到可見：MIX觀察與采集

通過暗場與明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳 統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，有助 于觀察樣品的表面紋理。

支持潔凈室合規(guī)性的設(shè)計

MX63系列專為潔凈室工作而設(shè)計，并有效降低樣品污染或受損的風(fēng)險。該系統(tǒng)采用人體工 學(xué)設(shè)計，可幫助用戶在長時間使用中保持舒適。MX63系列符合SEMI S2/S8、CE和UL等多 項國際規(guī)范及標(biāo)準(zhǔn)要求。

人性化

直觀的顯微鏡控制：舒適且使用方便

顯微鏡設(shè)置操作簡單，讓用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置更加輕松。

成像技術(shù)

為質(zhì)量檢驗提供精細(xì)的光學(xué)性能和數(shù)碼成像技術(shù)

奧林巴斯研發(fā)高質(zhì)量光學(xué)器件和數(shù)碼成像技術(shù)的悠久歷史成就了具有測量精度的 一系列可靠光學(xué)器件和顯微鏡。

應(yīng)用

反射光顯微鏡在很多應(yīng)用和行業(yè)中普遍應(yīng)用。以下是采用不同的觀察方法所達(dá)到的一些效果示例。

模塊化

全面可定制

MX63系列設(shè)計用于讓用戶能夠選擇各種光學(xué)器件滿足其特定的檢測和應(yīng)用需求。該系統(tǒng)可 使用所有觀察方法。 用戶還可從一系列的奧林巴斯Stream圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇，以滿足其特定的圖像采 集和分析需求。