產(chǎn)品簡介
一、用途
ZXGP-500系列明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中常用的檢測儀器之一。
技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)配置 | 大視野 WF10X(視場數(shù)Φ22mm) 無限遠(yuǎn)長工作距離平場消色差物鏡 | ||
PL L10X/0.25 工作距離：20.2 mm | |||
PL L60X/0.70 工作距離：3.18 mm | |||
目鏡筒 | |||
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | |||
轉(zhuǎn)換器 | |||
載物臺 | |||
落射照明系統(tǒng) | |||
配置黃、藍(lán)、綠濾色片與磨砂玻璃片 | |||
透射照明系統(tǒng) | |||
集光鏡中內(nèi)置視場光欄 | |||
6V30W鹵素?zé)?、亮度可調(diào) | 防霉系統(tǒng)
| 電腦型(ZXGP-500C) | |
數(shù)碼型(ZXGP-500E) | |||
可選配件 | |||
目鏡 | |||
物鏡 | |||
CCD接頭 | |||
攝像儀 | |||
數(shù)碼相機(jī)接頭 | |||
分析軟件 | 二維圖像測量分析軟件 | ||
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