微量氮分析儀是專門用于連續(xù)分析N2/Ar和N2/He而設計的，它的N2檢測器就是源于我們成功的HFADD的高頻氬放電檢測器，儀器利用對氮分子的選擇性來檢測氬氣或氦氣中微量氮。

微量氮分析儀的工作原理：

作為載氣的高純氬氣以一定流速流經處在高頻振蕩電磁場中的石英管時，在管外施加1500V高電壓，使石英管內氬氣原子在100兆赫的高頻電磁場振蕩下運動，由于氬原子的電離能低于受振蕩后的平均自由程能量，因而氬原子在管內被電離形成離子、電子及中性粒子的混合氣體---等離子體，并且氬原子受激發(fā)放電產生弧光。當被測氣體經分離柱后進入檢測器中時，由于*性氣體雜質的分子N2，H2，CH4等吸收并粹滅弧光，而O2和CO分子受激發(fā)后產生增強弧光。所產生光的強度變化與被測成分濃度成正比，故可以借此進行雜質定量分析。此種檢測器被稱為高頻氬放電檢測器。ADD高頻氬放電檢測器可以分析99.9999%級高純氬中雜質，因此分析氬中氮含量可以達到10ppb。