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環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀

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公司名稱復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司
品牌其他品牌
型號FM-PS-PFS-V02
所在地上海市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2026/4/29 11:23:50
訪問次數(shù)2599

產(chǎn)品標簽:

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復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司，2012 年創(chuàng)立于上海，為高校，企業(yè)和研究所提供臺式掃描電子顯微鏡，及與臺式掃描電鏡相關(guān)的技術(shù)支持和測試服務(wù)。復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司成立以來，一直專注顯微技術(shù)，致力于實現(xiàn)掃描電鏡平民化。飛納電鏡——復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司為用戶提供從掃描電鏡基礎(chǔ)理論到 Level 5 應(yīng)用工程師的進階培訓(xùn)，在上海、北京、廣州、成都設(shè)立了測試中心和售后服務(wù)中心，目前飛納電鏡在中國已經(jīng)擁有超過 2000 名用戶。

2017 年起，復(fù)納與荷蘭 Sioux 集團（ASML 光刻機研發(fā)供應(yīng)商）合作開發(fā)基于分析儀器的數(shù)字化應(yīng)用解決方案；2018 年，復(fù)納引入并組建以 VSParticle 納米粒子發(fā)生器、ForgeNano 原子層沉積系統(tǒng)（美國）為主要產(chǎn)品的納米部門。復(fù)納又陸續(xù)引進海外優(yōu)質(zhì)高科技設(shè)備：Technoorg Linda 離子研磨儀、DENSsolutions 原位透射樣品桿、NEOSCAN 臺式顯微 CT 到中國，旨在提高分析結(jié)果準確性，提升儀器使用效率，節(jié)省人力成本。

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掃描電鏡，臺式掃描電鏡，制樣設(shè)備CP離子研磨儀，原位樣品桿，可視化顆粒檢測，高分辨臺式顯微 CT，粉末原子層沉積系統(tǒng)，納米氣溶膠沉積系統(tǒng)

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Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀，專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發(fā)，支持秒級間隔的數(shù)據(jù)采集，精準測量 0.5 um 以上顆粒。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng)，幫助客戶實現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測向表面潔凈度監(jiān)測的跨越式升級，為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進提供科學(xué)依據(jù)。

環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀產(chǎn)品信息

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀，專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發(fā)，支持秒級間隔的數(shù)據(jù)采集，精準測量 0.5 um 以上顆粒。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng)，幫助客戶實現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測向表面潔凈度監(jiān)測的跨越式升級，為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進提供科學(xué)依據(jù)。

生產(chǎn)過程中的一致性測量

快速: 秒級連續(xù)監(jiān)測

定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗證與監(jiān)測

易操作: 操作員簡單培訓(xùn)即可使用

精準: 高分辨率測量（數(shù)量、時間線、位置、尺寸）

一致性: 可重復(fù)的客觀測量結(jié)果

高吞吐量: 現(xiàn)場實時分析

環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀

監(jiān)測顆粒沉積速率（DPRL）

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀（PFS）采用緊湊的工業(yè)設(shè)計，依據(jù) ISO 14644-9 和 ISO 14644-17 標準，監(jiān)測顆粒沉積速率（DPRL）。該設(shè)備使工藝/質(zhì)量工程師能夠?qū)崟r 監(jiān)控潔凈室環(huán)境中關(guān)鍵區(qū)域的顆粒沉降情況。

在關(guān)鍵區(qū)域?qū)崿F(xiàn)持續(xù)監(jiān)測

區(qū)別于傳統(tǒng)的僅監(jiān)測空氣懸浮顆粒，該系統(tǒng)可以對關(guān)鍵表面的顆粒污染控制和潔凈度驗證進行持續(xù)監(jiān)測。亞微米級顆粒并非始終懸浮于空氣中，它們可能沉積于關(guān) 鍵表面，影響技術(shù)潔凈度與產(chǎn)品質(zhì)量。

該儀器采用 2 英寸晶圓采集環(huán)境中的落塵顆粒，并可每隔 10 秒左右對晶圓表面的顆粒進行連續(xù)粒子沉降監(jiān)測。其檢測粒徑尺寸為 ≥0.5（通過 NIST 認證），并準確量化沉降速率。軟件界面簡單直觀，可以一鍵生成報告。

Fastmicro PFS 是一款高精度原位檢測顆粒的儀器，幫助工程師應(yīng) 對潔凈工藝控制挑戰(zhàn)。

結(jié)合 Phenom XL 掃描電鏡，可以便捷高效的進一步對顆粒物進行成分表征和溯源分析。