1 .本底高速恢復(fù)
?通過島津的分析管270度偏轉(zhuǎn)方式,不受氦以外氣體的影響,即
使吸入了大量氦,本底也能快速恢復(fù)
2 .測(cè)試端口氦排氣速度3L/s(50 Pa以下)
?氦排氣速度較高,有助于本低的快速穩(wěn)定及快速感應(yīng)
? 在生產(chǎn)線中有助于縮短節(jié)拍時(shí)間
3 .搭載非接觸型的干式真空泵
? 搭載無油/無塵/三年免維護(hù)的泵
? 無塵室
? 無需更換油旋轉(zhuǎn)真空泵的油,可防止漏油和排氣煙霧
























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