高精度國(guó)產(chǎn)電動(dòng)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)AUBAT納米級(jí)水平回轉(zhuǎn)工作臺(tái)
| （電動(dòng)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)）技術(shù)參數(shù) | |
| 規(guī)格 | AUBAT-ZTA200 |
| 臺(tái)面直徑 | 200mm |
| 軸向跳動(dòng)（μm） | ＜0.1μm |
| 徑向跳動(dòng)（μm） | ＜0.1μm |
| 承重（kg） | ＞500N |
| 分辨力 | 優(yōu)于1′ |
| 重復(fù)定位精度 | 優(yōu)于±2′ |
| 供氣壓力 | 0.4~0.6MPa |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 進(jìn)口直驅(qū)電機(jī) |
| 工作臺(tái)面 | 可根據(jù)用戶需求預(yù)留安裝孔位 |
| 配件 | |
| 壓縮空氣（氣泵）） | 選配 |
| 油水分離器 | 進(jìn)口品牌（CKD）氣源過(guò)濾系統(tǒng) |
| 可根據(jù)客戶的需求提供設(shè)計(jì)方案，也可直接按其方案加工制造. | |
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 高精度的氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
AUBAT-ZTA200采用了高精度空氣靜壓轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)，可獲得高精度的轉(zhuǎn)臺(tái)回轉(zhuǎn)精度，徑向誤差運(yùn)動(dòng)值<100nm,軸向誤差運(yùn)動(dòng)值<100nm。
? 高重復(fù)定位精度
AUBAT-ZTA200轉(zhuǎn)臺(tái)基于高分辨高分率圓光柵作為反饋元件，高回轉(zhuǎn)精度氣浮技術(shù)、以及優(yōu)異的控制算法，可實(shí)現(xiàn)優(yōu)于±2 ′的回轉(zhuǎn)定位精度，優(yōu)于±1′的重復(fù)回轉(zhuǎn)精度。
? 高性能電控系統(tǒng)
AUBAT-ZTA200轉(zhuǎn)臺(tái)使用了高性能力矩電機(jī)，采用直接驅(qū)動(dòng)方式，取消了傳動(dòng)機(jī)構(gòu)， 極大的提高了傳動(dòng)效率；通過(guò)優(yōu)化的控制算法，可達(dá)到 0.2arcsec 左右的控制跟隨誤差；
奧本精密工業(yè)AUBAT自主的設(shè)計(jì)，自有的超精密加工技術(shù)，以及可控的生產(chǎn)裝配能力、可實(shí)現(xiàn)特殊規(guī)格的訂制服務(wù)。
應(yīng)用領(lǐng)域
1)精密計(jì)量：圓度、垂直度、平面度、同心度、圓柱度的計(jì)量
2)空間模擬裝置，陀螺模擬實(shí)驗(yàn)
3)三坐標(biāo)儀，齒輪測(cè)量?jī)x等
4)低速伺服轉(zhuǎn)臺(tái)
5)精密儀器軸承：圓度儀、摩擦力矩儀等
6)光學(xué)測(cè)試
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