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蔡司 Axio Imager Vario 用于檢測大尺寸樣品的正置式顯微鏡

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公司名稱北京中顯恒業(yè)儀器儀表有限公司
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更新時間2025/4/25 9:11:33
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    北京冠普佳科技有限公司是一家經(jīng)營科學儀器的綜合性專業(yè)公司，代理國內(nèi)、國外專業(yè)生產(chǎn)廠家的*的高科技產(chǎn)品。公司經(jīng)營的主要產(chǎn)品有：重慶奧特OPTEC顯微鏡，尼康NIKON顯微鏡，德國MMM箱體，凝膠成像系統(tǒng)，專業(yè)成像分析、采集系統(tǒng)及其他各種國內(nèi)外儀器設(shè)備

        北京冠普佳科技有限公司是重慶奧特OPTEC特別*的工業(yè)顯微鏡北京總代理，負責奧特OPTEC顯微鏡系列產(chǎn)品以及各種相關(guān)設(shè)備的銷售與服務(wù)業(yè)務(wù)。公司提供全面、優(yōu)質(zhì)的實驗室全套解決方案：我們不僅提供售前技術(shù)咨詢和快速供貨服務(wù)，同時還提供包括安裝調(diào)試、使用指導(dǎo)、應(yīng)用指導(dǎo)、維護保養(yǎng)在內(nèi)的整套售后服務(wù)。

        北京冠普佳科技有限公司擁有一批專業(yè)的銷售隊伍，能為廣大客戶提供包括技術(shù)咨詢、產(chǎn)品選配、培訓和維護的專業(yè)服務(wù)，擁有一批專業(yè)化的技術(shù)、維修服務(wù)人才。本著“*的產(chǎn)品，*的質(zhì)量，*的服務(wù)”精神，為您提供即時、細致、*的服務(wù)，北京冠普佳科技有限公司必將成為您Z信賴的伙伴！

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檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞

蔡司 Axio Imager Vario 用于檢測大尺寸樣品的正置式顯微鏡產(chǎn)品信息

檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求

從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的樣品高度為254 mm，橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設(shè)計確保了良好的穩(wěn)定性。可滿足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用要求。利用驅(qū)動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至理想的聚焦位置。

潔凈室
半導(dǎo)體生產(chǎn)和晶圓檢測需要在潔凈室內(nèi)進行。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標準，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級。Axio Imager Vario已通過此標準認證，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求。ISO 5級潔凈室相當于原先標準FED STD 209E（1992）的100級。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉(zhuǎn)盤、一個顆粒保護罩和防噴嚏保護罩。

優(yōu)勢

具有兩種手動機柱和一種電動機柱（配有符合工業(yè)標準的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的橫向樣品空間300 mm x 300 mm和樣品高度254 mm的優(yōu)勢。
Axio Imager Vario能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復(fù)性。
借助硬件自動對焦功能，可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。
將Axio Imager Vario與LSM 900結(jié)合使用，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品
Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認證，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求。